Übersicht
Einsatzbereit unter Konstruktionsregeln, die der Miniaturisierung Rechnung tragen.
Der Grad der Partikelentfernung bei einem Einzeldurchlaufverfahren liegt bei 0,05 µm.
Die Durchflussrate wird im Vergleich zu den derzeit hergestellten Patronen mit 0,1 µm nur um 15% verringert.
Die Patrone hat die gleiche Größe wie ältere Patronen (Durchmesser: 70 mm), so dass das Gehäuse nicht ausgetauscht werden muss.
Merkmale
Hervorragende Rückhalteleistung
Die dichte Innenschicht, die der PSE-Membran eigen ist, sorgt dafür, dass selbst Partikel mit 0,05 µm zuverlässig zurückgehalten werden.
Hohe Durchflussrate
Die Durchflussrate verringert sich im Vergleich zu den konventionellen einzelnen (1-stufigen) Patronen mit 0,1 µm nur um ca. 15 %.
Lange Nutzungsdauer
Die der PSE-Membran eigene Struktur bietet eine lange Nutzungsdauer.
Hauptanwendungen
Da die Patrone eine PSE-Membran verwendet, die einen guten Ruf genießt, ist sie am besten für die folgenden Anwendungen geeignet, die die Entfernung von ultrafeinen Partikeln erfordern.
-
Filtration von gereinigtem Wasser zur Reinigung von Geräten für das Herstellungsverfahren von Wafern mit 300 mm.
-
Filtration von Chemikalien zur Reinigung von Geräten für das Herstellungsverfahren von Wafern mit 300 mm.
-
Filtration von Galvanikflüssigkeiten, Entwicklern, etc.
Spezifikationen
Tabelle der Leistungsmerkmale
Artikel |
Einheit |
Leistung |
Anmerkungen |
|
---|---|---|---|---|
Porengröße |
µm |
0,05 |
||
Größe |
Länge |
mm |
264 |
*1 |
Außendurchmesser |
mm |
70 |
||
Maximaler Differenzdruck |
25 ℃ |
MPa |
0,54 (Überdruck) |
|
25 ℃ |
MPa |
0,34 (Unterdruck) |
||
Hitzebeständigkeit |
℃ |
90 ℃ |
*2 |
|
Anwendbarer pH-Bereich |
1 - 14 |
*3 |
Material
Teilbezeichnung |
Material |
---|---|
Schutz |
Polypropylen |
Kern zentrieren |
Polypropylen |
Support |
Polypropylen |
Membranfilter |
Polysulfon (asymmetrische Membran) |
O-Ring |
EPDM (Silikon, Viton) |
|
Porengröße |
||
---|---|---|---|
Typ M |
Typ MP |
||
Verpackungseinheit |
1 |
PSECM05SPPW1 |
PSECMP05SPPW1 |
12 |
PSECM05SPPW12 |
PSECMP05SPPW12 |