svizzera

Capsula PSE

NEW

Supporta le apparecchiature di trattamento della prossima generazione di processo a wafer singolo.

Panoramica

La capsula utilizza una membrana PSE che è stata accolta favorevolmente. È di piccole dimensioni e offre una portata elevata e un’alta precisione.

La velocità di flusso equivalente a quella dei singoli prodotti convenzionali (monostadio) di altre aziende è realizzata con un metà prodotto (metà stadio).
Lo strato interno denso brevettato della membrana PSE garantisce una ritenzione affidabile di particelle fini.

Applicazioni principali

  • Filtrazione di acqua purificata utilizzata da apparecchiature di pulizia a wafer singolo

  • Filtrazione di sostanze chimiche utilizzate da apparecchiature per la pulizia a umido a wafer singolo

  • Acqua di risciacquo finale per gli sviluppatori

Caratteristiche

Tabella delle caratteristiche di prestazioni

Item

Unità

Prestazioni

Commenti

Dimensioni dei pori

μm

0,1

0,2

0,45

0,1

0,2

0,45

 

Dimensioni nominali

 

Q

H

 

Formato

Lunghezza

mm

152

210

*1

Diametro esterno

mm

93,5

 

Pressione differenziale massima

25 °C

MPa

0,54 (pressione positiva)

 

Resistenza al calore

MAX°C

40 °C

2

Area PH da utilizzare

 

1 - 14

*3

  • *1 Fare riferimento a “Dimensione e diametro dell'ugello” di seguito.
  • *2 Temperatura di esercizio continua
  • *3 In caso di utilizzo della cartuccia per la filtrazione di fluidi chimici, è necessario effettuare una valutazione preventiva in base alle condizioni d'uso previste.

Materiale

Nome della parte

Materiale

Alloggiamento

Polipropilene

Protezione dell'elemento

Polipropilene

Nucleo centrale

Polipropilene

Supporto

Polipropilene

Filtro a membrana

Polisulfone (membrana asimmetrica)

Portata iniziale e perdita di pressione iniziale

Nome prodotto abbreviato

 

Quarto (1/4)

Metà (1/2)

0,1 μm

PSED10QW1

PSED10HW1

0,2 μm

PSED20QW1

PSED20HW1

0,45 μm

PSED45QW1

PSED45HW1

Dimensioni e diametri degli ugelli

 

PSED Q

PSED H

A

93,5

B

92

C

87

D

35

E

35

F

140

196

G

86,7

L

152

210

N-①

R1/2

R3/4

N-②

R1/2

R3/4

N-③

Con tappo R1/4

N-④

Con tappo R1/4

Unità: mm

  • *Per informazioni dettagliate sui metodi di utilizzo, consultare il manuale di istruzioni fornito con il prodotto.
  • *Il prodotto può essere realizzato su ordinazione, a seconda della forma e/o della taglia. Per ulteriori dettagli, contattare l’agente di vendita locale.
  • *Le specifiche sono soggette a modifiche a scopo di miglioramento senza preavviso.