Panoramica
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Pronta per l’uso per substrati LCD più grandi.
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È stata realizzata una portata pari a circa 2 volte*1 quella dei tradizionali filtri a portata ultra-elevata.
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Ideale per la pulizia di substrati LCD di grandi dimensioni da Gen 8 a Gen 10.
Caratteristiche
Allineamento
La linea comprende 2 tipi di cartucce dalle aree di filtraggio diverse (tipo USL / tipo SXL).
Portata straordinariamente elevata
La cartuccia raggiunge una portata straordinariamente elevata equivalente a circa 2 volte la portata ultra-elevata della cartuccia PSE di tipo XL. Viene assicurata una portata di 300 L/min*2 , con una dimensione dei pori di 0,2 μm. (A ΔP = 0,03 MPa)
Elevata capacità di ritenzione delle particelle fini
Lo strato interno denso proprietario della membrana PSE, che presenta una distribuzione ben definita delle dimensioni dei pori, garantisce una ritenzione affidabile delle particelle fini.
Può essere utilizzata per alloggiamenti pronti per l'uso con AS568-334.
La cartuccia si adatta agli alloggiamenti che sono pronti per l'uso con l'O-ring per filtri di tipo AS568-334. Può essere utilizzata a una portata ancora più elevata combinandola con un alloggiamento prodotto da noi.
Cartuccia fabbricata in modo robusto
La robustezza è possibile grazie alla membrana in polisulfone ad alta resistenza e a un corpo principale di nuova concezione.
Applicazioni principali
La cartuccia impiega una membrana con una struttura asimmetrica proprietaria (membrana PSE) che è stata accolta favorevolmente.
Dimostra prestazioni eccellenti nelle seguenti applicazioni che richiedono elevate capacità di ritenzione delle particelle fini, un'elevata portata e una lunga durata.
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Filtrazione dell'acqua di pulizia utilizzata dalle apparecchiature di processo a umido per creare substrati di grandi dimensioni per LCD
Caratteristiche
Tabella delle caratteristiche di prestazioni
Item |
Unità |
Prestazioni |
Commenti |
||||
---|---|---|---|---|---|---|---|
Dimensioni dei pori |
μm |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
1,2 |
||
Formato |
Lunghezza |
mm |
273 |
|
|||
Diametro esterno |
mm |
130 |
|
||||
Pressione differenziale massima |
25 °C |
MPa |
0,34 (pressione positiva) |
|
|||
Area PH da utilizzare |
|
1 - 14 |
*3 |
Materiale
Nome della parte |
Materiale |
---|---|
Filtro a membrana |
Polisulfone (membrana asimmetrica) |
Materiale di supporto |
Polipropilene |
Scatola |
Polipropilene |
O-ring |
EPDM (standard) |
Dimensioni O-ring: JIS-P65 (AS568-334 o equivalente)
Portata iniziale e perdita di pressione iniziale (tipo UXL)
Portata iniziale e perdita di pressione iniziale (tipo SXL)
Formato
Nome prodotto abbreviato
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