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クリーナー製品

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表面洗浄からレジスト除去、エッチング残渣の除去まで幅広い分野の洗浄液材料を取り揃えています。

幅広い洗浄液材料の品揃え

半導体基板の洗浄と不純物除去はプロセスが変わるごとについて回る永遠のテーマです。レジスト除去からプロセス残渣の除去まで、Mircostrip™シリーズにて幅広い分野の洗浄薬液を提供いたします。

Microstrip™シリーズ

  • レジスト剥離液 Photoresist Stripper
  • ドライエッチング後残渣除去液 Post Dry Etching Residne Remover