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CMPスラリー関連製品

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半導体製造プロセスにおける銅配線層の平坦化に用いられる研磨剤(CMPスラリー)を用意しております。

先端デバイス用高性能スラリーの品揃え

半導体回路の微細化と高速化を実現するために銅配線が広く使われるようになりました。銅配線の加工には対象となる基板の平坦化が不可欠で、CMP(化学的効果と機械的効果の相乗作用による研磨)スラリーはこれに用いられる材料です。金属や絶縁膜などの部材が混在する半導体基板面を、ミクロな単位で平滑にします。

富士フイルムが写真材料研究で培った電気化学反応や数多くの機能性素材の技術を基に、新発想と新技術を取り入れたスラリーの開発によってディッシングやエロージョンを抑えつつ、高速で均一なCu研磨を実現します。またバリアー研磨では個別の基板に合わせたケミストリの最適化により、対象部材ごとに望ましい研磨選択比を実現します。
CMPスラリー製品は富士フイルムプラナーソリューションのブランドで製造販売しています。

製品一覧

  • Cu用CMPスラリー
  • バリア用CMPスラリー
  • CMP後洗浄液