- 幅広いプロセス許容度
- スプレーおよびバッチツール用途に適合
- ヒドロキシルアミン（HA）溶剤系クリーナーと直接的な純水リンスの場合と比べて、コスト上の利点が大きい
- IPA（イソプロピルアルコール）リンスのケミカルコストの除去
- IPAリンスステップがなくなることによるスループットの向上
- 安全で使いやすい
- 優れたプロセス機器材料との適合性
- 優れた金属およびILD（層間絶縁膜）との適合性
- パッケージのオプション：
- 4リットルのHDPEボトル
- 200リットルドラム
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