日本
赤、緑、青の液体が満たされた3個のビーカー

クリーナー

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アルミニウム合金、銅合金、反射防止層、SiO2 およびLow-k誘電体上の灰化後含水残渣クリーナー

  • 幅広いプロセス許容度
  • スプレーおよびバッチツール用途に適合
  • ヒドロキシルアミン(HA)溶剤系クリーナーと直接的な純水リンスの場合と比べて、コスト上の利点が大きい 
    • IPA(イソプロピルアルコール)リンスのケミカルコストの除去
    • IPAリンスステップがなくなることによるスループットの向上
  • 安全で使いやすい
  • 優れたプロセス機器材料との適合性
  • 優れた金属およびILD(層間絶縁膜)との適合性
  • パッケージのオプション:
    • 4リットルのHDPEボトル
    • 200リットルドラム