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溶剤

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レジストのエッジビード除去(EBR)、再加工、リンスおよびプリウェット用途の幅広い特殊な溶剤ブレンド。高度なリソグラフィプリウェット用途に対応した超高純度溶剤。

フォトレジスト用途では、精密なレジストのエッジビード除去(EBR)が要求されています。そこで当社は、純度、パッケージ、環境保護に関する業界標準を維持しながら、世界クラスのエッジビード除去を実現するEBRソリューションを開発しました。

  • 製品の純度は、最新の分析ツールを用いて継続検証しています。
  • 米国、欧州、アジアの各拠点の工場で製造しています。
  • パッケージのオプション: 
    • 4リットルボトル4本
    • 200リットルのドラム缶(1wayまたはリターナブル)
    • 1000リットルのIBC 
    • バルクデリバリー

製品ラインアップ

コア製品

  • RER 500/550
  • RER 600
  • RER 650/652
  • RER 800

ネガトーンイメージング(NTI)システムの現像液およびリンス液

  • FN-DP001
  • FN-RP002

リンス1(現像洗浄後)

  • プリウェット用途に対応した超高純度材料