한국

세정제

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알루미늄 및 구리 합금, 반사 방지 층, SiO2, low-k 유전체의 수성 포스트 애쉬 잔여물 세정제

제조 체인
  • Al 합금, 반사 방지 층, SiO2 유전체의 비아, 금속 라인, 접합 패드 레벨에서 에칭 잔류물 제거.
  • Cu, Low-k, Ultra Low-k 호환성이 있는 다마신 공정에서 에칭 잔여물 제거.