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45/22nm 노드 이하용 첨단 유전체
저전력 소비 및 고속이 필요한 장치에 Low-K 재료 사용
갭 충진 및 회수
Low-K 유전체에 대한 화학 물질 지원
유전체 및 도펀트 소스
최첨단 분석 테스트 및 생산으로 지원되는 고순도 전구체
기타
염소 공급원, 접착 촉진제, 부식제, 세정제, 리듀서
분산 장비
다양한 화학 물질과 호환되는 개방형 아키텍처로 설계된 화학 물질 전달 시스템
온도 컨트롤러
전면 로딩이 간편한 전구체로 정밀한 온도 제어