A taxa de fluxo equivalente à de produtos únicos convencionais (1 estágio) de outras empresas é realizada com um meio produto (1/2 estágio).
A camada densa interna proprietária da membrana PSE garante a retenção fiável de partículas finas.
-
Filtração de água purificada utilizada por equipamento de limpeza húmida de wafer único
-
Filtração de químicos utilizados por equipamento de limpeza húmida de wafer único
-
Água de enxaguamento final para reveladores
Item |
Unidade |
Desempenho |
Comentários |
||||||
---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
Tamanho dos poros |
μm |
0.1 |
0.2 |
0.45 |
0.1 |
0.2 |
0.45 |
|
|
Tamanho nominal |
|
Q |
H |
|
|||||
Tamanho |
Comprimento |
mm |
152 |
210 |
*1 |
||||
Diâmetro externo |
mm |
93.5 |
|
||||||
Pressão diferencial máxima |
25°C |
MPa |
0,54 (Pressão positiva) |
|
|||||
Resistência ao calor |
MÁX°C |
40 °C |
*2 |
||||||
Área PH a ser usada |
|
1 - 14 |
*3 |
- *1 Consulte “Tamanho e diâmetro do bocal” abaixo
- *2 Temperatura de funcionamento contínuo
- *3 No caso de utilização do cartucho para filtração de fluidos químicos, deve ser realizada uma avaliação prévia de acordo com as condições de utilização planeadas
Nome da peça |
Material |
---|---|
Compartimento |
Polipropileno |
Proteção do elemento |
Polipropileno |
Núcleo central |
Polipropileno |
Suporte |
Polipropileno |
Filtro de membrana |
Polissulfona (Membrana assimétrica) |


|
Quarto (tamanho 1/4) |
Metade (tamanho 1/2) |
---|---|---|
0,1μm |
PSED10QW1 |
PSED10HW1 |
0,2 μm |
PSED20QW1 |
PSED20HW1 |
0,45 μm |
PSED45QW1 |
PSED45HW1 |
PSED Q |
PSED H |
|
---|---|---|
A |
93.5 |
|
B |
92 |
|
C |
87 |
|
D |
35 |
|
E |
35 |
|
F |
140 |
196 |
G |
86.7 |
|
L |
152 |
210 |
N-① |
R1/2 |
R3/4 |
N-② |
R1/2 |
R3/4 |
N-③ |
Com tampa R1/4 |
|
N-④ |
Com tampa R1/4 |
Unidade: mm
- * Para obter detalhes sobre os métodos de utilização, consulte o manual de instruções fornecido com o produto
- * O produto pode ser construído a pedido, dependendo da forma e/ou do tamanho. Para mais informações, contacte o seu agente de vendas
- * As especificações estão sujeitas a alterações para fins de melhoria sem aviso prévio