A taxa de fluxo equivalente à de produtos únicos convencionais (1 estágio) de outras empresas é realizada com um meio produto (1/2 estágio).
A camada densa interna proprietária da membrana PSE garante a retenção fiável de partículas finas.
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Filtração de água purificada utilizada por equipamento de limpeza húmida de wafer único
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Filtração de químicos utilizados por equipamento de limpeza húmida de wafer único
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Água de enxaguamento final para reveladores
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Item |
Unidade |
Desempenho |
Comentários |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
|
Tamanho dos poros |
μm |
0.1 |
0.2 |
0.45 |
0.1 |
0.2 |
0.45 |
|
|
|
Tamanho nominal |
|
Q |
H |
|
|||||
|
Tamanho |
Comprimento |
mm |
152 |
210 |
*1 |
||||
|
Diâmetro externo |
mm |
93.5 |
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||||||
|
Pressão diferencial máxima |
25°C |
MPa |
0,54 (Pressão positiva) |
|
|||||
|
Resistência ao calor |
MÁX°C |
40 °C |
*2 |
||||||
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Área PH a ser usada |
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1 - 14 |
*3 |
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- *1 Consulte “Tamanho e diâmetro do bocal” abaixo
- *2 Temperatura de funcionamento contínuo
- *3 No caso de utilização do cartucho para filtração de fluidos químicos, deve ser realizada uma avaliação prévia de acordo com as condições de utilização planeadas
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Nome da peça |
Material |
|---|---|
|
Compartimento |
Polipropileno |
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Proteção do elemento |
Polipropileno |
|
Núcleo central |
Polipropileno |
|
Suporte |
Polipropileno |
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Filtro de membrana |
Polissulfona (Membrana assimétrica) |
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|
Quarto (tamanho 1/4) |
Metade (tamanho 1/2) |
|---|---|---|
|
0,1μm |
PSED10QW1 |
PSED10HW1 |
|
0,2 μm |
PSED20QW1 |
PSED20HW1 |
|
0,45 μm |
PSED45QW1 |
PSED45HW1 |
|
PSED Q |
PSED H |
|
|---|---|---|
|
A |
93.5 |
|
|
B |
92 |
|
|
C |
87 |
|
|
D |
35 |
|
|
E |
35 |
|
|
F |
140 |
196 |
|
G |
86.7 |
|
|
L |
152 |
210 |
|
N-① |
R1/2 |
R3/4 |
|
N-② |
R1/2 |
R3/4 |
|
N-③ |
Com tampa R1/4 |
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N-④ |
Com tampa R1/4 |
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Unidade: mm
- * Para obter detalhes sobre os métodos de utilização, consulte o manual de instruções fornecido com o produto
- * O produto pode ser construído a pedido, dependendo da forma e/ou do tamanho. Para mais informações, contacte o seu agente de vendas
- * As especificações estão sujeitas a alterações para fins de melhoria sem aviso prévio