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Kann mit größeren LCD-Substraten verwendet werden.
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Mit einer Durchflussrate, die im Vergleich zu herkömmlichen Filtern mit ultrahoher Durchflussrate etwa 2 mal*1 so hoch ist.
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Bestens geeignet für die Reinigung von großen LCD-Substraten der Gen 8 bis Gen 10.
- *1 Typ UXL
Die Produktpalette umfasst 2 Patronentypen mit unterschiedlichen Filterflächen (Typ UXL / Typ SXL).
Die Patrone hat eine außerordentlich hohe Durchflussrate, die etwa dem 2-fachen der ultrahohen Durchflussrate der PSE-Patrone Typ XL entspricht. Eine Durchflussrate von 300 L/min. *2 wird mit einer Porengröße von 0,2 µm gewährleistet. (Bei ΔP = 0,03 MPa)
Die proprietäre dichte Innenschicht der PSE-Membran, die sich durch eine gut definierte Porengrößenverteilung auszeichnet, sorgt für eine zuverlässige Rückhaltung von feinen Partikeln.
Die Patrone passt in Gehäuse, die zur Verwendung mit dem Filter-O-Ring der Größe AS568-334 geeignet sind. Wenn die Patrone zusammen mit einem von unserem Unternehmen hergestellten Gehäuse verwendet wird, dann ist sie für eine noch höhere Durchflussrate geeignet.
Die Robustheit wurde durch eine hochfeste Polysulfon-Membran und einen neu konstruierten Hauptkörper realisiert.
- *2 Typ UXL
Die Patrone verwendet eine Membran mit proprietärer asymmetrischer Struktur (PSE-Membran), die positiv aufgenommen wurde.
Sie zeigt eine hervorragende Leistung in den nachstehenden Anwendungen, die eine hohe Rückhalteleistung für feine Partikel, eine hohe Durchflussrate und eine lange Lebensdauer erfordern.
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Filtration von Reinigungswasser, das von Nassprozessanlagen zur Herstellung großer LCD-Substrate verwendet wird
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Artikel |
Einheit |
Leistung |
Anmerkungen |
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|---|---|---|---|---|---|---|---|
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Porengröße |
µm |
0,1 |
0,2 |
0,45 |
1,2 |
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Größe |
Länge |
mm |
273 |
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Außendurchmesser |
mm |
130 |
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Maximaler Differenzdruck |
25 ℃ |
MPa |
0,34 (Überdruck) |
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Zu verwendender PH-Bereich |
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1 - 14 |
*3 |
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- *3 Bei Verwendung der Patrone zur Filtration von chemischen Flüssigkeiten muss eine vorherige Bewertung unter den geplanten Einsatzbedingungen durchgeführt werden.
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Teilbezeichnung |
Material |
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Membranfilter |
Polysulfon (asymmetrische Membran) |
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Unterstützungsmaterial |
Polypropylen |
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Gehäuse |
Polypropylen |
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O-Ring |
EPDM (standard) |
Größe des O-Rings: JIS-P65 (AS568-334 oder gleichwertig)
Mit den folgenden 2 Gehäusetypen können die Filter mit der außerordentlich hohen Durchflussrate ihre Leistungsfähigkeit voll demonstrieren.
- FPSUX TE1 (aus Polypropylen)
- FS6LJM 1-1 50 FET 1 (aus Edelstahl)
- * Einzelheiten zu den Verwendungsmethoden finden Sie in der Bedienungsanleitung, die dem Produkt beiliegt.
- * Das Produkt kann je nach Form und/oder Größe auf Bestellung gebaut werden. Einzelheiten erfahren Sie von Ihrem Vertriebsmitarbeiter.
- * Die technischen Daten können zu Verbesserungszwecken ohne vorherige Ankündigung geändert werden.