Technologies centrales

Technologie MEMS

Conception et prototypage du dispositif à l’aide du film piézoélectrique unique de FUJIFILM

Les connaissances approfondies de Fujifilm en matière de matériaux piézoélectriques et de technologies de dépôt, ainsi que sa ligne de prototypage rapide de dispositifs, nous permettent de concevoir, fabriquer et tester rapidement des dispositifs MEMS qui répondent à vos besoins

Avantages du matériau piézoélectrique de FUJIFILM

  • Bonne linéarité de la réponse de déplacement
  • Pas de polissage requis
    Le dispositif fini peut être utilisé immédiatement. Même chauffé à une température supérieure à la température de Curie, la réponse du dispositif n’est pas altérée.
  • Hautement uniforme sur une même plaquette et d’une plaquette à l’autre

Film piézoélectrique sur plaquette de 8 pouces

Constante piézoélectrique élevée et excellente durabilité

Ce diagramme à barres compare les constantes piézoélectriques du PZT dopé au Nb de Fujifilm, du PZT pulvérisé de la société A, du PZT pulvérisé de la société B et du PZT sol-gel de la société C. Le PZT de Fujifilm a une constante piézoélectrique d31 de 220, la valeur la plus élevée par rapport aux sociétés A, B et C.
Ce graphique montre les changements de la quantité de déplacement par rapport au nombre d’impulsions. Il montre qu’il n’y a pas de dégradation du déplacement même après 1 011 impulsions.

Film PZT hautement dopé au Nb, propriété exclusive de FUJIFILM (breveté)

Elles montrent : structure cristalline du PZT dopé au Nb, images SEM en coupe transversale des produits en vrac standard, membranes fines de Fujifilm, schéma de direction de polarisation. Le PZT dopé au Nb contient du niobium au centre du treillis de cristaux (ni zirconium, ni titane). Contrairement aux produits en vrac, notre membrane fine est composée de colonnes de cristaux qui s’étendent dans la direction de l’épaisseur du revêtement, avec la direction de polarisation alignée.

Application sur les têtes d’impression jet d’encre

Têtes d’impression compactes haute résolution  avec buses 2-D haute densité actionnées par le film Nb-PZT de FUJIFILM

À gauche, présentation d’un schéma de jet d’encre utilisant un film piézoélectrique. Le film piézoélectrique expulse l’encre, entraînant l’éjection d’encre à haute viscosité. À droite, présentation d’une vue transversale du film piézoélectrique. La structure se compose de colonnes de cristaux densément regroupées.

Application aux micro-miroirs

Atteindre des performances de dispositif inaccessibles avec des films piézoélectriques conventionnels

Il présente une photographie d’un micro-miroir utilisant une membrane piézoélectrique et un schéma illustrant son fonctionnement. Le micro-miroir se compose d’un miroir qui réfléchit la lumière, ainsi que d’une force motrice qui permet au miroir de s’incliner et de se déplacer à haute vitesse. En réfléchissant la lumière avec le miroir, il est possible de scanner la lumière.