Tecnologías Centrales

Tecnología MEMS

Diseño y creación de prototipos de dispositivos con la película piezoeléctrica única de FUJIFILM

El profundo conocimiento de Fujifilm en materiales piezoeléctricos y tecnologías de deposición, así como su línea rápida de creación de prototipos de dispositivos, nos permiten diseñar, construir y probar rápidamente dispositivos MEMS que satisfagan sus necesidades

Ventajas del material piezoeléctrico de FUJIFILM

  • Buena linealidad de respuesta al desplazamiento
  • No se requiere un proceso de polarización
    El dispositivo terminado se puede operar de inmediato. Incluso si se calienta por encima de la temperatura de Curie, la respuesta del dispositivo no se altera.
  • Altamente uniforme en una oblea y de oblea a oblea

Película piezoeléctrica en oblea de 8 pulgadas

Constante Piezoeléctrica Elevada y Durabilidad Sobresaliente

Este gráfico de barras compara las constantes piezoeléctricas del PZT dopado con Nb de Fujifilm, del PZT pulverizado de la compañía A, del PZT pulverizado de la compañía B y del PZT sol-gel de la compañía C. El PZT de Fujifilm tiene una constante piezoeléctrica d31 de 220, el valor más alto en comparación con las compañías A a C.
Este gráfico de dispersión muestra los cambios en la cantidad de desplazamiento en relación con la cantidad de pulsos. Los resultados muestran que no hay degradación en el desplazamiento, incluso después de someter el material a 1011 pulsos.

Película de PZT altamente dopada con Nb de propiedad exclusiva de FUJIFILM (patentada)

Se muestran la estructura cristalina del PZT dopado con Nb, imágenes SEM de productos a granel y de las membranas delgadas de Fujifilm, y un esquema de la dirección de polarización. En el PZT dopado, el Nb reemplaza al Zr o Ti en el centro de la red cristalina.  A diferencia de los productos a granel, nuestras membranas presentan columnas alineadas con la dirección del grosor y la polarización.

Aplicación en cabezales de inyección de tinta

Cabezales de impresión compactos de alta resolución  con boquillas de alta densidad en 2-D accionadas por la película Nb-PZT de FUJIFILM

A la izquierda, se muestra un diagrama esquemático de una inyección de tinta usando una película piezoeléctrica. La película piezoeléctrica expulsa la tinta, lo que da como resultado la expulsión de tinta de alta viscosidad. A la derecha, se muestra una vista en sección transversal de la película piezoeléctrica. La estructura está formada por columnas de cristal densamente agrupadas.

Aplicación en microespejos

Lograr un rendimiento del dispositivo que no se puede conseguir con películas piezoeléctricas convencionales

Muestra una fotografía de un microespejo usando una membrana piezoeléctrica y un diagrama esquemático que ilustra su funcionamiento. El microespejo consiste en un espejo que refleja la luz y una fuerza de conducción que permite que el espejo se incline y se mueva a altas velocidades. Al reflejar la luz con el espejo, es posible escanear la luz.