Panoramica
Pronta per l'uso in base alle regole di progettazione che rispondono alla miniaturizzazione.
Il grado di rimozione delle particelle per un'operazione a passata singola è di 0,05 μm.
La portata subisce una riduzione di solo il 15% rispetto alle cartucce da 0,1 μm attualmente prodotte.
La cartuccia ha le stesse dimensioni delle cartucce precedenti (diametro: 70 mm), per cui non occorre sostituire l'alloggiamento.
Caratteristiche
Eccellenti prestazioni di ritenzione
Lo strato denso interno peculiare della membrana PSE garantisce che particelle di fino a 0,05 μm siano trattenute in modo affidabile.
Portata elevata
La portata subisce una riduzione di solo il 15% circa rispetto alle convenzionali cartucce singole (monostadio) da 0,1 μm.
Lunga durata di vita utile
La struttura peculiare della membrana PSE offre una lunga durata di vita utile.
Applicazioni principali
Poiché la cartuccia utilizza la membrana PSE dalla buona reputazione, è più adatta per le seguenti linee che richiedono la rimozione di particelle ultra fini.
-
Filtrazione di acqua purificata per apparecchiature di pulizia nel processo di produzione di wafer da 300 mm
-
Filtrazione di sostanze chimiche per apparecchiature di pulizia nel processo di produzione di wafer da 300 mm
-
Filtrazione di fluidi di placcatura, sviluppatori, ecc.
Caratteristiche
Tabella delle caratteristiche di prestazioni
Item |
Unità |
Prestazioni |
Commenti |
|
---|---|---|---|---|
Dimensioni dei pori |
μm |
0,05 |
||
Formato |
Lunghezza |
mm |
264 |
*1 |
Diametro esterno |
mm |
70 |
||
Pressione differenziale massima |
25 °C |
MPa |
0,54 (pressione positiva) |
|
25 °C |
MPa |
0,34 (pressione negativa) |
||
Resistenza al calore |
℃ |
90 °C |
*2 |
|
Intervallo di pH applicabile |
1 - 14 |
3 |
Materiale
Nome della parte |
Materiale |
---|---|
Protezione |
Polipropilene |
Nucleo centrale |
Polipropilene |
Supporto |
Polipropilene |
Filtro a membrana |
Polisulfone (membrana asimmetrica) |
O-ring |
EPDM (silicone, Viton) |
|
Dimensioni dei pori |
||
---|---|---|---|
Tipo M |
Tipo MP |
||
Unità di imballaggio |
1 |
PSECM05SPPW1 |
PSECMP05SPPW1 |
12 |
PSECM05SPPW12 |
PSECMP05SPPW12 |