應變是對物件施加力量時,物件形狀或體積發生的變化程度。
本節描述測量應變計的測量原理和機制,與用於類似應用的感壓薄膜相比。
應變計係藉由使用應變原則來建立。
當對金屬施加一定的力量使其膨脹或收縮時,電阻會隨之改變。
應變計藉由讀取此電阻並將其放大至電力輸出來測量應變量。
感壓薄膜是在對物體施力時用來測量每單位面積負載的薄膜。
富士軟片以「Prescale」的名義提供這些薄膜。
Prescale,有時稱為「壓力指示膜」、「壓力檢驗膜」或「壓力紙」,是一種能夠視覺化和量化表面壓力的薄膜。
表面壓力可簡單地藉由將薄膜插入所需區域之間來量測。
應變計安裝在負載單元和其他負載測量儀器中。
應變計的作用是藉由在稱為「應變產生器」的元件上,安裝應變計來測量壓力,該元件會因壓力而產生應變,測量應變程度並轉換成電子訊號。
使用這些應變計的測壓元件經常與測量壓力的薄膜「Prescale」一起使用。
使用應變計的測壓元件可用於測量應用於物體的負載值,而 Prescale 測量表面壓力
測量套用至物件的負載值(點)
測量施加到物體的表面壓力
應變可透過以下公式獲得。
ΔR(抗性變化)÷ R(原始抗性)= K(計量因子,比例常數)× ε(應變)
以下是一些使用應變計搭配測壓元件的例子。
例如:基板製造中的乾膜層黏附製程
檢查輥軸兩端的負載值
將 Prescale 插入輥軸之間,並根據顏色目視檢查或定量檢查壓力值、輥軸傾斜度、瓦數、輥軸狀況等。

由輥軸施加均勻的壓力。
輥軸間在某些部位會彼此強烈撞擊,或輥軸會刮傷。
例如:基板或多層陶瓷裝置製造中的堆疊製程
檢查層壓機軸的負載值。
在層壓機和組件之間插入 Prescale,根據著色條件以視覺或定量方式檢查壓機表面上是否有碎片、分佈、異物等。

壓力由模具均勻施加。
模具碰到一側,中心弱碰
例如:在半導體製造中使用晶圓接合設備的壓接製程
檢查壓接夾具軸上的負載值
在要壓接的材料和夾具之間放置 Prescale,並根據顏色以視覺或定量方式檢查夾具的平行性、壓力不規則性、負載值等。

均勻施加壓力。
壓力施加不均勻
例如:鋰離子電池製造中的外包裝材料密封程序或活化程序
檢查熱封條或夾具上的負載值
在密封條與密封構件之間或固定夾具與加壓構件之間放置 Prescale,以目視或定量方式檢查熱封條和夾具平行性、壓力分佈、負載值等。


達到水平平行,並均勻施加壓力。
無平行,壓力不均
測壓元件配備應變計,可以測量施加到該點的力(一維),但看不到施加到表面的壓力(二維)。
如果未控制表面上的壓力值,則無法掌握設備的傾斜度或整體趨勢,這可能導致產品缺陷。
這是感壓薄膜「Prescale」發揮作用之處。
Prescale,有時稱為「壓力指示膜」、「壓力檢驗膜」或「壓力紙」,是一種能夠視覺化和量化表面壓力的薄膜。
表面壓力可簡單地藉由將膜插入所需區域之間來量測。







