Das umfassende Wissen über piezoelektrische Materialien und Abscheidungstechnologien bei Fujifilm sowie seine Rapid Device Prototyping-Linie ermöglichen es uns, MEMS-Bauteile, die Ihren Anforderungen entsprechen, schnell zu entwickeln, herzustellen und zu testen
Vorteile des piezoelektrischen Materials von FUJIFILM
- Gute Linearität der Verschiebung
- Kein Polierungsprozess erforderlich
Fertiges Gerät kann sofort bedient werden. Selbst bei Erwärmung über die Curie-Temperatur hinaus bleibt die Reaktion des Geräts unverändert. - Sehr gleichmäßig über einen Wafer und Wafer-zu-Wafer

Piezoelektrische Folie auf 8-Zoll-Wafer
Hohe piezoelektrische Konstante und hervorragende Haltbarkeit


Die firmeneigene hoch Nb-dotierte FUJIFILM PZT-Folie (patentiert)

Anwendung auf Tintenstrahlköpfe
Hochauflösende kompakte Druckköpfe mit hochdichten 2D-Düsenarrays, die durch die FUJIFILM Nb-PZT-Folie betätigt werden

Anwendung auf Mikrospiegel
Eine solche Bauelementleistung kann mit herkömmlichen piezoelektrischen Folien nicht erreicht werden
