MEMS-technologie

Ontwerp en prototypering met behulp van de unieke piëzo-elektrische film van FUJIFILM

Door onze diepgaande kennis over piëzo-elektrische materialen en depositietechnologieën, evenals onze snelle prototypinglijn voor apparaten, kan Fujifilm snel MEMS-apparaten ontwerpen, bouwen en testen die aan uw behoeften voldoen

Voordelen van het piëzo-elektrisch materiaal van FUJIFILM

Goede lineariteit van de verplaatsingsrespons
Geen polingsproces vereist
Het afgewerkte apparaat kan onmiddellijk worden bediend. Zelfs bij verwarming boven de Curie-temperatuur verandert de respons van het apparaat niet.
Zeer uniform op een wafer en van wafer-tot-wafer

Piëzo-elektrische film op een wafer van 8 inch

Hoge piëzo-elektrische constante en uitstekende duurzaamheid

Dit staafdiagram vergelijkt de piëzo-elektrische constanten van Fujifilm met Nb-doped PZT, sputtered PZT van het bedrijf A, sputtered PZT van het bedrijf B en sol-gel PZT van het bedrijf C. De PZT van Fujifilm heeft een piëzo-elektrische constante d31 van 220, de hoogste waarde in vergelijking met de bedrijven A tot en met C.

Deze grafiek toont de veranderingen in verplaatsingshoeveelheid ten opzichte van het aantal pulsen. Hieruit blijkt dat de verplaatsing zelfs na 1011 pulsen niet afneemt.

FUJIFILM’s eigen Highly Nb-gedoteerd PZT-film (gepatenteerd)

Deze tonen de kristalstructuur van Nb-gedoteerd PZT, de SEM-doorsnede van conventionele bulkproducten, de dunne membranen van Fujifilm, en een schematisch diagram van de polarisatierichting. Nb-gedoteerd PZT heeft niobium midden in het kristalrooster in plaats van zirkonium of titanium. Anders dan bij bulkproducten bestaat de structuur van ons dunne membraan uit kristalkolommen die zich richting coatingdikte uitstrekken, waarbij de polarisatie in dezelfde richting is uitgelijnd.

Korrelvormingstechnologie

Technologie die korrels vormt door middel van opbouw

Functionele molecuultechnologieën

Technologie om kleine moleculen te produceren die vrije transformatie van de moleculaire structuren van organische verbindingen mogelijk maken, om zo het onmogelijke mogelijk te maken

Functionele polymeren

Technologie om kleine polymeren te produceren die vrije transformatie van de moleculaire structuren van organische verbindingen mogelijk maken, om zodoende het onmogelijke mogelijk te maken

Redoxbeheersingstechnologie

Technologie voor de beheersing van lopende organische/anorganische verbindingsreacties

Nanodispersietechnologie

Technologieën voor stabiele mengsels van onmengbare stoffen, waardoor ze kunnen schitteren met uiteenlopende materiaaleigenschappen

Zeer nauwkeurige coatingtechnologie

Technologieën voor het vormen van uniforme enkellaagse/meerlaagse coatings over een groot oppervlak

Filmvormingstechnologie

Technologieën voor het creëren van enkellaagse/meerlaagse/3D-structuurfilm

Zeer nauwkeurige vormingstechnologie

Technologie voor exacte overdracht van materialen naar zeer nauwkeurige mallen voor uitharding

Beeldvormingstechnologie

Technologie om beeldvormingsdoelen om te zetten in digitale gegevens voor controle

Systeemontwerp

Technologie om high-resolution-beelden sneller en betrouwbaarder te leveren

Bio-engineering

Technologie om gebruik te maken van inherente biologische mogelijkheden voor preventie, diagnose en behandeling