MEMS-Technologie

Gerätedesign und Prototypanfertigung unter Verwendung der einzigartigen piezoelektrischen Folie von FUJIFILM

Das umfassende Wissen über piezoelektrische Materialien und Abscheidungstechnologien bei Fujifilm sowie seine Rapid Device Prototyping-Linie ermöglichen es uns, MEMS-Bauteile, die Ihren Anforderungen entsprechen, schnell zu entwickeln, herzustellen und zu testen

Vorteile des piezoelektrischen Materials von FUJIFILM

Gute Linearität der Verschiebung
Kein Polierungsprozess erforderlich
Fertiges Gerät kann sofort bedient werden. Selbst bei Erwärmung über die Curie-Temperatur hinaus bleibt die Reaktion des Geräts unverändert.
Sehr gleichmäßig über einen Wafer und Wafer-zu-Wafer

Piezoelektrische Folie auf 8-Zoll-Wafer

Hohe piezoelektrische Konstante und hervorragende Haltbarkeit

Dieses Balkendiagramm vergleicht die piezoelektrischen Konstanten des Nb-dotierten PZT von Fujifilm, des gesputterten PZT von Unternehmen A, des gesputterten PZT von Unternehmen B und des Sol-Gel-PZT von Unternehmen C. Das PZT von Fujifilm hat eine piezoelektrische Konstante d31 von 220 und damit den höchsten Wert im Vergleich zu den Unternehmen A bis C.

Dieses Diagramm zeigt die Änderungen des Verschiebungsbetrags in Abhängigkeit von der Anzahl der Impulse. Es zeigt auf, dass es auch nach 1011 Impulsen keine Verschlechterung der Verschiebung gibt.

Die firmeneigene hoch Nb-dotierte FUJIFILM PZT-Folie (patentiert)

Hier werden die Kristallstruktur von Nb-dotiertem PZT, die REM-Querschnittsbilder von Massenprodukten und den Membranen von Fujifilm sowie ein Diagramm der Polarisationsrichtung dargestellt. Bei Nb-dotiertem PZT ist in der Mitte des Kristallgitters Niob anstelle von Zirkonium oder Titan. Im Gegensatz zu Massenprodukten besteht die Struktur unserer dünnen Membran aus Kristallsäulen, die sich in Richtung der Schichtdicke erstrecken, wobei die Polarisationsrichtung gleichgerichtet ist.

Kornbildungstechnologie

Technologie, die durch Anhäufung Körner bildet

Technologien für funktionale Moleküle

Technologie zur Herstellung kleiner Moleküle, die eine freie Umwandlung der molekularen Strukturen organischer Verbindungen ermöglichen, wodurch das Unmögliche möglich wird

Funktionspolymere

Technologie zur Herstellung von Polymeren, die eine freie Umwandlung der Molekularstrukturen organischer Verbindungen ermöglichen, wodurch das Unmögliche möglich wird

Redox-Kontrolltechnologie

Technologie zur Kontrolle laufender Reaktionen von organischen/anorganischen Verbindungen

Nano-Dispersionstechnologie

Technologien für stabile Mischungen von nicht mischbaren Substanzen, die es ihnen ermöglichen, mit unterschiedlichen Materialeigenschaften zu glänzen

Hochpräzise Beschichtungstechnologie

Technologien zur Erzielung einheitlicher ein- und mehrschichtiger Beschichtungen über viele Bereiche

Filmherstellungstechnologien

Technologien zur Herstellung von einschichtigem/mehrschichtigem/3D-Strukturfilm

Hochpräzise Formgebungstechnologie

Technologie für den exakten Transfer von Materialien in Hochpräzisionsformen zum Aushärten

Bildgebungstechnologie

Technologie zur Umwandlung von Bildgebungsvorgaben in digitale Daten zur Kontrolle

Systemdesign

Technologie zur schnelleren und zuverlässigeren Bereitstellung hochauflösender Bilder

Bioengineering

Technologie zur Nutzung inhärenter biologischer Eigenschaften für Prävention, Diagnose und Behandlung