핵심 기술

MEMS 기술

후지필름의 고유한 압전 필름을 사용한 기기 설계 및 프로토타입 제작

후지필름은 압전 소자 및 증착 기술에 대한 깊은 지식과 신속한 기기 프로토타입 제작 라인을 통해 고객의 요구에 맞는 MEMS 기기를 신속하게 설계, 제작 및 테스트할 수 있습니다.

후지필름 압전 소자의 이점

  • 우수한 변위 응답 선형성
  • 분극 처리가 필요하지 않음
    완성된 기기는 즉시 작동할 수 있습니다. 퀴리 온도 이상으로 가열해도 기기 응답이 변경되지 않습니다.
  • 웨이퍼 전체 및 웨이퍼 간 고균일성

8인치 웨이퍼의 압전 필름

높은 압전 상수 및 탁월한 내구성

이 막대 그래프는 후지필름의 Nb 도핑 PZT, A사의 스퍼터링 PZT, B사의 스퍼터링 PZT, C사의 솔겔 PZT의 압전 상수를 비교한 것입니다. 후지필름의 PZT는 압전 상수 d31이 220으로 A~C사와 비교했을 때 가장 높은 값입니다.
이 플롯 그래프는 펄스 수에 따른 변위량의 변화를 나타냅니다. 1011회 펄스 이후에도 변위의 저하가 없습니다.

후지필름의 독자적인 고농도 Nb 도핑 PZT 필름(특허 획득)

Nb 도핑된 PZT의 결정 구조, 기존 벌크 제품과 후지필름의 박막의 단면 SEM 이미지, 편광 방향의 개략도를 나타냅니다. Nb 도핑된 PZT는 지르코늄이나 티타늄 대신 니오븀이 결정 격자 중앙에 삽입되어 있습니다. 벌크 제품과 달리 후지필름의 박막 구조는 코팅 두께 방향으로 뻗어 있는 결정 기둥으로 구성되어 있으며 편광 방향이 같은 방향으로 정렬되어 있습니다.

잉크젯 헤드에 적용

후지필름의 Nb-PZT 필름으로 작동하는 고밀도 2D 배열 노즐이 장착된 고해상도 컴팩트 프린트 헤드

왼쪽에는 압전 필름을 사용하는 잉크젯의 개략도가 나와 있습니다. 압전 필름이 잉크를 배출하여 고점도 잉크가 배출됩니다. 오른쪽에는 압전 필름의 단면도가 나와 있습니다. 결정 기둥이 촘촘하게 밀집된 구조로 이루어져 있습니다.

마이크로 미러에 적용

기존 압전 필름으로는 도달할 수 없는 기기 성능 달성

압전 멤브레인을 사용한 마이크로 미러의 사진과 작동 원리를 설명하는 개략도입니다. 마이크로 미러는 빛을 반사하는 미러와 미러를 기울여 고속으로 움직일 수 있게 하는 구동력으로 구성됩니다. 미러로 빛을 반사시켜 빛을 스캔할 수 있습니다.