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전면 로딩이 간편한 전구체로 정밀한 온도 제어
첨단 Low-K
45/22nm 노드 이하용 첨단 유전체
갭 충진 및 회수
Low-K 유전체에 대한 화학 물질 지원
유전체 및 도펀트 소스
최첨단 분석 테스트 및 생산으로 지원되는 고순도 전구체
기타
염소 공급원, 접착 촉진제, 부식제, 세정제, 리듀서
분산 장비
다양한 화학 물질과 호환되는 개방형 아키텍처로 설계된 화학 물질 전달 시스템
