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레지스트 에지 비드 리무벌(EBR), 재가공, 린스 & 프리웨트 용도의 다양한 특수 용제 혼합물. 고급 리소그래피 프리웨트 응용 분야용 초고순도 용제

에지 비드 제거, 프리웨트 & 기타 용도의 용제

오늘날의 주요 포토레지스트 응용 분야에서는 정밀한 레지스트 에지 비드 리무벌(EBR)가 필요합니다. 따라서 당사에서는 순도, 패키지 및 환경 보호에 대한 업계 표준을 유지하면서 세계적인 수준의 에지 비드 제거를 구현하는 종합 EBR 솔루션 제품군을 개발했습니다.

특징 & 장점

  • 최첨단 분석 도구를 사용하여 제품 순도를 지속적으로 검증합니다.
  • 미국, 유럽 및 아시아 3개 대륙의 공장에서 제조 및 패키징
  • 패키지 옵션: 
    • 4L 병 4병
    • 200L 드럼(단방향 및 반환 가능)
    • 1000L IBC 
    • 대량 배송

제품 요약

핵심 제품

  • RER 500/550
  • RER 600
  • RER 650/652
  • RER 800

NTI(Negative Tone Imaging) 시스템 감광액 & 린스액

  • FN-DP001
  • FN-RP002

린스 1(현상 세척 후)

  • 고급 프리웨트 응용 분야에 이용할 수 있는 초고순도 소재