특징 & 장점
포지티브 건조 및 액침 이미징과 네거티브 톤 현상(NTD) 등 193nm 노광을 위한 다양한 고해상도 이미징 시스템
- 높은 처리량
- 탁월한 해상도
- 넓은 공정 윈도우
- 낮은 결함 수준
- 수직 프로파일
제품 요약
- GAR 시리즈
GAR 시리즈 제품은 193nm 건식 노광이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다. - PTD용 FAiR 시리즈
FAiR 시리즈 제품은 193nm 액침 노광 및 포지티브 톤 현상이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다. - NTD용 FAiR 시리즈
FAiR 시리즈 제품은 193nm 액침 노광 및 네거티브 톤 현상이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.
