한국
블루 분자 주변에서 수술용 마스크와 보안경을 착용한 여성들

ArF(193nm)

NEW

포지티브 건조 및 액침 이미징, 네거티브 톤 현상(NTD)용 소재

특징 & 장점

포지티브 건조 및 액침 이미징과 네거티브 톤 현상(NTD) 등 193nm 노광을 위한 다양한 고해상도 이미징 시스템

  • 높은 처리량
  • 탁월한 해상도
  • 넓은 공정 윈도우
  • 낮은 결함 수준
  • 수직 프로파일

제품 요약

  • GAR 시리즈
    GAR 시리즈 제품은 193nm 건식 노광이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.
  • PTD용 FAiR 시리즈
    FAiR 시리즈 제품은 193nm 액침 노광 및 포지티브 톤 현상이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.
  • NTD용 FAiR 시리즈
    FAiR 시리즈 제품은 193nm 액침 노광 및 네거티브 톤 현상이 필요한 다양한 응용 분야에 적합합니다.