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매크로 실리콘 웨이퍼

i-Line, g-Line 및 광대역

NEW

0.30μm 이하에서 >1.0μm 이상의 해상도를 아우르는 임계 및 비임계 응용 분야를 위한 다양한 중파 자외선 감광성 포토레지스트 시리즈.

특징 & 장점

광범위한 레지스트 두께에 걸쳐 다양한 기판에 0.30μm 이하에서 >1.0μm 이상의 해상도를 아우르는 임계 및 비임계 응용 분야를 위한 다양한 중파 자외선 감광성 포토레지스트 시리즈입니다.

제품 요약

  • 비반사 기판의 까다로운 임계 CD(<350nm) 프린트용으로 설계된 비반사 기판 레지스트용 고급 i-Line 레지스트 제품군:
    • OiR 620 시리즈
    • OiR 674 시리즈
  • 반사 기판에서 고해상도(>350nm CD) 패터닝을 위한 고속 포토스피드 옵션을 제공하는 반사 기판 레지스트용 고급 i-Line 레지스트 시리즈:
    • OiR 674 시리즈
    • GiR 1102 시리즈
  • 높은 처리량, 고해상도(>500nm CD) 및 강력한 패터닝을 위한 가장 빠른 포토스피드 옵션을 제공하는 다목적 고해상도 i-Line 레지스트 시리즈:
    • GIR 2700 시리즈
    • OiR 305 시리즈
    • OiR 906 시리즈
    • OiR 907 시리즈
  • g-Line, i-Line 및 광대역(>800nm CD)을 위한 강력한 패터닝을 제공하는 다목적 크로스오버 g-Line 및 i-Line 레지스트 시리즈:
    • HiPR 6500 시리즈
    • HPR 512
  • 고반사율 기판에서 CD 및 노칭 제어를 위한 비표백, 고광학 밀도를 제공하는 고반사 기판 레지스트용 다이 레지스트 시리즈:
    • OiR 906HD
    • OiR 305HC
    • HiPR 6517GH
  • 필름 두께 3~11μm의 더 두꺼운 필름 패터닝 요구를 위한 더 두꺼운 응용 분야 레지스트용 i-Line 레지스트 시리즈:
    • FHi-560EP 시리즈
    • FHi-570
    • OiR 305
    • OiR 908