특징 & 장점
광범위한 레지스트 두께에 걸쳐 다양한 기판에 0.30μm 이하에서 >1.0μm 이상의 해상도를 아우르는 임계 및 비임계 응용 분야를 위한 다양한 중파 자외선 감광성 포토레지스트 시리즈입니다.
제품 요약
- 비반사 기판의 까다로운 임계 CD(<350nm) 프린트용으로 설계된 비반사 기판 레지스트용 고급 i-Line 레지스트 제품군:
- OiR 620 시리즈
- OiR 674 시리즈
- 반사 기판에서 고해상도(>350nm CD) 패터닝을 위한 고속 포토스피드 옵션을 제공하는 반사 기판 레지스트용 고급 i-Line 레지스트 시리즈:
- OiR 674 시리즈
- GiR 1102 시리즈
- 높은 처리량, 고해상도(>500nm CD) 및 강력한 패터닝을 위한 가장 빠른 포토스피드 옵션을 제공하는 다목적 고해상도 i-Line 레지스트 시리즈:
- GIR 2700 시리즈
- OiR 305 시리즈
- OiR 906 시리즈
- OiR 907 시리즈
- g-Line, i-Line 및 광대역(>800nm CD)을 위한 강력한 패터닝을 제공하는 다목적 크로스오버 g-Line 및 i-Line 레지스트 시리즈:
- HiPR 6500 시리즈
- HPR 512
- 고반사율 기판에서 CD 및 노칭 제어를 위한 비표백, 고광학 밀도를 제공하는 고반사 기판 레지스트용 다이 레지스트 시리즈:
- OiR 906HD
- OiR 305HC
- HiPR 6517GH
- 필름 두께 3~11μm의 더 두꺼운 필름 패터닝 요구를 위한 더 두꺼운 응용 분야 레지스트용 i-Line 레지스트 시리즈:
- FHi-560EP 시리즈
- FHi-570
- OiR 305
- OiR 908
