KrF(248nm) NEW 다양한 응용 분야를 커버하는 포지티브 톤 KrF 포토레지스트 문의 공유 닫기 개요 응용 특징 & 장점 GKR 시리즈는 다양한 응용 분야를 커버하는 포지티브 톤 KrF 포토레지스트 시스템입니다. 높은 종횡비 적용 우수한 플라즈마 에칭 & 이온 주입 내성 높은 열 안정성 넓은 공정 윈도우 낮은 결함 수준 장기적 안정성 수직 프로파일 폭넓은 두께 적용 범위
한국