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실리콘 웨이퍼를 들고 있는 남성

KrF(248nm)

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다양한 응용 분야를 커버하는 포지티브 톤 KrF 포토레지스트

특징 & 장점

GKR 시리즈는 다양한 응용 분야를 커버하는 포지티브 톤 KrF 포토레지스트 시스템입니다.

  • 높은 종횡비 적용
  • 우수한 플라즈마 에칭 & 이온 주입 내성
  • 높은 열 안정성
  • 넓은 공정 윈도우
  • 낮은 결함 수준
  • 장기적 안정성
  • 수직 프로파일
  • 폭넓은 두께 적용 범위