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한국
온도 제어 패널

온도 컨트롤러 : 개요

전면 로딩이 간편한 전구체로 정밀한 온도 제어

TC 2000 제품군은 공정 중에 전구체 온도를 정확하게 제어하여 안정적인 증기압을 보장합니다. 

  • 전면 로딩
  • 자동 충진을 위한 사전 장착
  • 대부분의 산업 표준 앰풀과 호환 가능
  • 1.5L 석영 컨테이너 크기 지원
  • 유연한 디자인
제품 요약

TC2000™ - 온도 컨트롤러 

  • 3가지 온도 범위 
    • 쿨링/가열 15°C-40°C
    • 가열 35°C-70°C
    • 초열 55°C-90°C
  • 3가지 하드웨어 구성
    • 독립형
    • 원격 전자장치
    • 랙 장착