Примеры полупроводников.
Представлено пять примеров: химико-механическая полировка, ламинирующий ролик из ленты Backgrind, всасывающая колодка для закрепления штампов, оборудование для термокомпрессионного присоединения полупроводниковых пластин и устройства термовакуумного прессования.
Область применения: Производство полупроводников
Сложности: Недостаточная точность или дефектные изделия часто возникают из-за того, что производство продолжается, несмотря на неразрешенные случаи плохой полировки или другие проблемы, в том числе недостаточную точность контакта.
Преимущества Prescale: Улучшение качества, экономия времени
Область применения: Производство полупроводников
Сложности: Если распределение давления ламинирующего ролика неоднородно, лента для обратного шлифования может сморщиться.
Преимущества Prescale: Экономия времени, повышение качества
Область применения: Изготовление полупроводников (крепление кристалла)
Сложности: Если всасывающий наконечник неравномерно приложен к полупроводниковым кристаллам, при их удалении могут возникнуть проблемы, или они могут стать дефектными.
Преимущества Prescale: Снижение потерь продукции низкого качества, потерь материалов
Область применения: Производство (напр. склеивающего оборудования, MEMS, кремниевых пластин, составных полупроводников, матриц CMOS)
Сложности: Если давление, применяемое для склеивания пластин или подложек, не является постоянным, могут возникнуть такие проблемы, как дефект уплотнения, неравномерная прочность склеивания и неровность ширины рисунка.
Преимущества Prescale: Сократить время и усилия по устранению причины
Область применения: Электронные компоненты, OLED, сенсорные экраны, печатные платы, полупроводники в обрабатывающих и разрабатывающих машинах
Сложности: Ожидается, что устройства будут поддерживать как можно более равномерное поверхностное давление для повышения качества обработанной продукции.
Преимущества Prescale: Снижение отказов или выхода давления, улучшение качества