Россия

Пленка для измерения давления  Prescale

Примеры применения в полупроводниках или полупроводниковом оборудовании

Давление постепенно становится важным в производстве полупроводников из-за их миниатюризации. При таких обстоятельствах производители оборудования и материалов, а также производители полупроводников начали использовать PRESCALE в различных областях применения, таких как «измерение давления полировки в оборудовании химической механической полировки (CMP)» «проверка распределения давления в прессе для ламинирования при производстве электростатического патрона или керамического нагревателя» или «распределение давления в формовочной машине» и т. д.
На этой странице мы представим некоторые области применения процесса производства полупроводников. Безусловно, существует множество областей применения и помимо нижепредставленных, поэтому, если вы хотите легко и дешево измерить давление на поверхности, вы можете запросить наши образцы.

Процесс

1. Приобретение кремниевых пластин

Кремниевая пластина представляет собой дискообразный кусок высокочистого кремния. Размер пластины обычно составляет 200/300 мм.
Некоторые производители полупроводников теперь рассматривают 450 мм в качестве стандарта следующего поколения.

2. Процесс очистки

Поскольку сразу после покупки на пластине присутствуют различные виды пыли или ионов металлов, их удаляют высокочистыми кислотами или щелочными химикатами.

3. Процесс осаждения пленки

На пластину нанесены изоляционная и проводящая пленки, используемые для полупроводников.

4. Процесс фотолитографии

Схема начерчена (перенесена) на пластине с визирной сеткой.

Проверка распределения УФ-излучения

Проверка распределения УФ-излучения, облучаемого на фотомаске или пластине. UVSCALE изменяет цвет поверхности в зависимости от количества УФ-света и позволяет с одного взгляда проверить распределение УФ-света по всей поверхности. Поэтому UVSCALE помогает вам проверить неисправности УФ-лампы.

5. Процесс имплантации ионов

Некоторые примеси, такие как фосфор и бор, определяют электрические характеристики (тип P, N) полупроводников, имплантируются в пластину.

Проверка распределения давления ламинирующего пресса при производстве электростатических патронов и керамических нагревателей.

Керамические изделия, такие как электростатический патрон или керамический нагреватель, производятся посредством процесса ламинирования пресса, однако регулировка керамики очень сложна из-за их порошковой формы. С другой стороны, высокий параллелизм электростатического патрона или керамического нагревателя имеет важное значение для их поглощения пластиной. Поэтому производители керамических изделий используют PRESCALE для проверки параллелизма своих продуктов или поддержания их качества.

  • * На рисунке ниже показан патрон для электростатической системы.

Измерение контактного давления между пластиной и электростатическим патроном.

В процессе нанесения и отравления пластина адсорбирует электростатический патрон и нагревается через него во время этих процессов. Параллелизм электростатического патрона непосредственно влияет на теплопроводность между пластиной и электростатическим патроном, что может отрицательно сказаться на качестве полупроводников. Таким образом, некоторые производители полупроводников проверяют контактное давление между ними с помощью PRESCALE.

Измерение распределения контактного давления и диапазона давления на манипуляторе робота

PRESCALE используется для разработки, улучшения и/или обслуживания роботизированных рук, работающих на заводах. С помощью программы PRESCALE работники предприятий могут коррелировать цветораспределение или плотность цвета с повреждением пластины, а также разрабатывать и улучшать свою продукцию с помощью корреляционных данных.

7. Процесс осаждения

Пластина покрыта изоляционными пленками, которые разделяют провода по каждому слою.

8. Процесс химической и механической полировки

Поверхность пластины полируется и уплощается для облегчения последующих процессов.

Измерение давления полировки оборудования химической машинной полировки (CMP)

PRESCALE используется для сбора данных для разработки и совершенствования оборудования CMP или для поддержания его работы на заводах. Они используют PRESCALE для корреляции распределения цвета или плотности цвета с повреждением пластины, а также разрабатывают и совершенствуют свои продукты, используя данные корреляции.

9. Пленка для защиты поверхности

Защитная лента наклеивается для защиты цепи во время шлифовки задней поверхности на поверхность цепи или на пластину.

Проверка распределения давления при закрытии пластиной ленты для шлифовки задней поверхности

PRESCALE используется для проверки правильности распределения давления. В частности, некоторые производители полупроводников делают это для проверки своего оборудования, когда в его продукции в процессе обработки обнаруживаются некоторые дефекты.

10. Процесс фрезерования задней поверхности

Задняя сторона пластины шлифована, чтобы быть тонкой в целом.

11. Вставка разделительной ленты

Разделительная лента наносится на пластину для ее фиксации.

12. Процесс разделения

Пластина разрезается на множество миниатюрных наконечников.

Проверка распределения УФ-излучения на разделительной ленте (UVSCALE)

Шкала УФ используется для проверки распределения общего количества облучаемого УФ-излучения. Если УФ-излучения на разделительной ленте было достаточно, это предотвратит ее смещение с пластины, что может привести к повреждению пластины. Таким образом, очень важно проверить распределение УФ-излучения на всей поверхности ленты для разделения.

13. Процесс монтажа

На металлическую свинцовую раму устанавливается наконечник.

Проверка контактного давления между пластиной и всасывающим соплом

PRESCALE используется для сбора данных с целью разработки и улучшения всасывающего наконечника или для поддержания их правильной работы на заводах. PRESCALE может соотносить распределение или плотность цвета с повреждением пластины, а также помогать разрабатывать и улучшать продукты с помощью данных.

14. Процесс присоединения (связывание проводов)

Наконечник подключается к электродам в свинцовой рамке с помощью золотых проводов.

Измерение давления зажима

PRESCALE используется для сбора данных давления зажима для разработки оборудования.

15. Процесс литья

Наконечник формован таким образом, что представляет собой упаковку с смолистым инкапсулирующим веществом.

Проверка давления формовочной машины

PRESCALE используется для проверки распределения давления и его диапазона в формовочном оборудовании. Производители молдингового оборудования используют эту пленку для проверки качества своего оборудования перед его отправкой или для передачи этой пленки своему клиенту в качестве сертификации.

16. Процесс маркировки

Название продукта или название производителя отмечено на упаковке.

17. Процесс проверки

Отправляются наконечники, проверенные на предмет качества.

Гибкие подложки

Измерение распределения давления в процессе ламинирования зеленого листа при производстве жестких подложек

PRESCALE используется для указания распределения давления во время процесса ламинирования зеленого листа при изготовлении жестких подложек.

Измерение распределения давления вакуумных ламинирующих машин

PREACALE используется для измерения распределения давления вакуумных ламинирующих машин. Производители оборудования для вакуумного ламинирования используют эту пленку для проверки качества своих машин перед отправкой, проверки машин, работающих на заводах своих клиентов, или для подачи пленок в качестве сертификатов.

Проверка распределения давления PPI (пресс-пакет IEGT)

PRESCALE используется для проверки распределения давления PPI (пресс-пакет IEGT). Это одна из проверок качества у производителей PPI.

Бесплатный образец

Мы отправляем вам образец бесплатно с инструкцией по применению.