測壓元件是感測器或工具,可在對物件施力時測量某個點的力(負載、質量等)。
它也稱為負載傳感器,因為它將施加到感測器部分之力的強度轉換為電子訊號。
詳細機制請參閱圖。
檢查單點負載
檢查表面對表面施加的壓力
施力於物體時,感壓薄膜用於測量每單位面積的負載。
富士軟片以「Prescale」的名義提供這些薄膜。
測壓元件和感壓薄膜有時一起使用。
測壓元件用於製造產業,以考慮製造條件或調整製造設備。
它們的作用是測量沖壓機的負載值,以確定是否施加指定的力。
測壓元件包含一個內部感應器,稱為「應變計」,當它們被力變形時,會改變其電阻值。
藉由將此電阻值轉換為電力輸出,可測量力。
當 Prescale 上塗覆的微膠囊被壓力破壞時,無色染料會吸附到顏色顯色劑上,導致化學反應,進而產生紅色顏色。
壓力的強度可藉由此顏色的暗度來視覺化和量化。
測壓元件用於各種應用。
以下是一些範例。各項應用之細節,請參考應變計說明頁。
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輥軸(nip)負載值
例如:基板製造中的乾膜層黏附製程 -
堆疊時的負載值
例如:基板或多層陶瓷裝置製造中的堆疊製程 -
接觸條件
例如:在半導體製造中使用晶圓鍵結設備的壓接製程
例如:鋰離子電池製造中的外包裝材料密封程序或活化程序
測壓元件可以測量施加到該點(一維)的力,但無法瞭解施加到表面(二維)的壓力。
如果未測量表面上的壓力值,則無法檢查設備傾斜度或整體趨勢,這可能導致產品缺陷。
這是壓力測量膜「Prescale」發揮作用之處。
Prescale,有時稱為「壓力指示膜」、「壓力檢驗膜」或「壓力紙」,是一種能夠視覺化和量化表面壓力的薄膜。
表面壓力可簡單地藉由將膜插入所需區域之間來量測。








