Nederland

Film voor drukmeting  Prescale

Toepassingsvoorbeelden in halfgeleider- of halfgeleiderproductieapparatuur

Druk wordt geleidelijk aan belangrijk bij de productie van halfgeleiders als gevolg van de miniaturisatie van halfgeleiders. Onder deze omstandigheden zijn fabrikanten van productieapparatuur en -materialen en fabrikanten van halfgeleiders begonnen met het gebruik van PRESCALE in verschillende toepassingen, zoals het meten van de polijstdruk in chemisch-mechanische polijstapparatuur (CMP)' 'controle van de drukverdeling bij lamineerpersen voor het produceren van een elektrostatische klauwplaat of een keramisch verwarmingselement" of "meting van de drukverdeling van een matrijsmachine" enz.
Op deze pagina introduceren we enkele toepassingen tijdens het productieproces van halfgeleiders. Natuurlijk zijn er naast de volgende toepassingen veel toepassingen, dus als u de oppervlaktedruk gemakkelijk en tegen lage kosten wilt meten, kunt u onze monsters aanvragen.

Proces

1. Aankoop van siliconen wafels

Een siliciumwafel is een schijfvormig stukje silicium met een hoge zuiverheid. De afstelmaat is over het algemeen 200 mm/300 mm.
Sommige fabrikanten van halfgeleiders beschouwen 450mm nu als een standaard van de volgende generatie.

2. Reinigingsproces

Omdat er direct na aankoop verschillende soorten stof of metaalionen op de wafel zitten, worden ze verwijderd met hoge-zuiverheidzuur of alkalische chemicaliën.

3. Proces voor folieafzetting

De isolerende folie en geleidende folie die worden gebruikt voor halfgeleiders worden op een wafel opgebracht.

4. Fotolithografieproces

Er wordt een circuitpatroon getekend (overgedragen) op een wafel met een dradenkruis.

Controle van de verdeling van uv-licht

Controle van de verdeling van uv-licht dat is op een fotomasker of een wafel is gestraald. UVSCALE verandert de oppervlaktekleur op basis van de hoeveelheid uv-licht en hiermee kunt u de uv-lichtverdeling van het gehele oppervlak in één oogopslag controleren. Dus UVSCALE helpt u bij het controleren van storingen van een uv-lamp.

5. Ionenimplantatieproces

Sommige onzuiverheden zoals fosfor en boor die de elektrische kenmerken (P, N-type) van halfgeleiders bepalen, worden in de wafel geïmplanteerd.

Controle van de drukverdeling van de lamineerpers bij de productie van elektrostatische klauwplaten en keramische verwarmers.

Keramische producten zoals een elektrostatische klauwplaat of een keramische verwarmer worden vervaardigd door middel van een lamineerpersproces; het aanpassen van keramiek is echter zeer moeilijk vanwege hun poedervorm. Aan de andere kant is een hoge evenwijdigheid van een elektrostatische klauwplaat of een keramische verwarmer essentieel voor een wafel om ze te absorberen. Fabrikanten van keramische producten gebruiken PRESCALE om de evenwijdigheid of kwaliteit van hun producten te bewaken.

  • * De volgende afbeelding is in het geval van een elektrostatische klauwplaat.

Het meten van de contactdruk tussen een wafel en een elektrostatische klauwplaat.

Bij het depositie- en etsproces absorbeert een wafel een elektrostatische klauwplaat en wordt deze verwarmd door een elektrostatische klauwplaat tijdens deze processen. Parallelliteit van een elektrostatische klauwplaat heeft een directe invloed op de warmtegeleiding tussen een wafel en een elektrostatische klauwplaat, en dit kan negatieve effecten hebben op de kwaliteit van de halfgeleider. Daarom controleren sommige fabrikanten van halfgeleiders de contactdruk ertussen met PRESCALE.

Het meten van de contactdrukverdeling en het drukbereik op een robotarm

PRESCALE wordt gebruikt voor het ontwikkelen, verbeteren en onderhouden van robotarmen in fabrieken. Met behulp van PRESCALE kunnen fabrieksarbeiders de kleurverdeling of kleurdichtheid correleren met de schade aan de wafel en kunnen ze hun producten ontwikkelen en verbeteren met behulp van de correlatiegegevens.

7. Afzettingsproces

Een wafel wordt bedekt met isolatiefolies die de bedrading per laag scheiden.

8. Chemisch-mechanisch polijstproces

Een wafeloppervlak wordt gepolijst en afgevlakt om verdere processen te vergemakkelijken.

Het meten van de polijstdruk van een chemische polijstapparatuur (CMP)

PRESCALE wordt gebruikt om gegevens te verzamelen voor het ontwikkelen en verbeteren van CMP-apparatuur of om voor hun onderhoud in fabrieken. Zij gebruiken PRESCALE om de kleurverdeling of kleurdichtheid te correleren met de schade aan de wafel en ze ontwikkelen en verbeteren hun producten met behulp van de correlatiedata.

9. Oppervlakbeschermingstape plakken

Er wordt een beschermtape op het circuitoppervlak of een wafel aangebracht om een circuit te beschermen tijdens het slijpen van de achterkant.

Controle van de drukverdeling door het bedekken van een slijptape met een wafel

PRESCALE wordt gebruikt om te controleren of de drukverdeling al dan niet aan de norm voldoet. In het bijzonder doen sommige fabrikanten van halfgeleiders dit om hun apparatuur te controleren wanneer sommige defecten in hun producten worden aangetroffen tijdens het back-endproces.

10. Het slijpen van de achterkant

De achterkant van een wafel wordt geslepen zodat deze over het geheel dun is.

11. Plakken van chiptape

Er wordt een chiptape op een wafel aangebracht om deze te bevestigen.

12. Chipsnijproces

Een wafel wordt in veel kleine puntjes gesneden.

Controle van de verdeling van uv-licht op een chiptape (UVSCALE)

UV-schaal wordt gebruikt om de verdeling van de totale hoeveelheid bestraald uv-licht te controleren. Als er voldoende uv-licht op een dicingtape gestraald had, zou dit verhinderen dat de tape van de wafel los zou komen, wat schade aan de wafel kan veroorzaken. Daarom is het controleren van de verdeling van uv-licht over een heel oppervlak van een chiptape zeer belangrijk.

13. Montageproces

Er wordt een punt op een metalen geleidingsframe gemonteerd.

Controle van de contactdruk tussen een wafel en een zuigmond

PRESCALE wordt gebruikt om gegevens te verzamelen voor het ontwikkelen en verbeteren van zuigmond of om de juiste werking in fabrieken te handhaven. PRESCALE kan de kleurverdeling of kleurdichtheid correleren met de schade aan de wafel en helpen bij het ontwikkelen en verbeteren van producten door gebruik te maken van de gegevens.

14. Bondingproces (met soldeerdraad)

Er wordt in het geleidingsframe een punt met gouden draden aangesloten op elektroden.

Meten van opspandruk

PRESCALE wordt gebruikt om klemdrukdata te verzamelen om apparatuur te ontwikkelen.

15. Gietproces

Er wordt een punt als een pakket gevormd met een harsachtig inkapselingsmiddel.

Controle van de gietdruk van een gietmachine controleren

PRESCALE wordt gebruikt om de drukverdeling en het drukbereik in gietapparatuur te controleren. Fabrikanten van gietapparatuur gebruiken deze folie om de kwaliteit van hun apparatuur te inspecteren voordat ze deze verzenden of deze folie als certificering naar hun klant te sturen.

16. Markeringsproces

De productnaam of fabrikantnaam staat op de verpakking vermeld.

17. Inspectieproces

Punten die zijn gecontroleerd en goed bevonden worden verzonden.

Flexibele substraten

Het meten van de drukverdeling tijdens een proces van het lamineren van een groen vel in productie van harde substraten

PRESCALE wordt gebruikt om drukverdeling aan te geven tijdens een proces van lamineren van een groen vel in productie van harde substraten.

Het meten van de drukverdeling van vacuümlamineermachines

PREACALE wordt gebruikt om de drukverdeling van vacuümlamineermachines te meten. Fabrikanten van vacuümlamineermachines gebruiken deze folie voor het inspecteren van de kwaliteit van hun machines voor verzending, het inspecteren van machines die in de fabrieken van hun klanten werken of het indienen van folies voor certificering.

Controleren van de drukverdeling van PPI (Press Pack IEGT)

PRESCALE wordt gebruikt om de drukverdeling van PPI te controleren (Press Pack IEGT). Dit is een van de kwaliteitsinspecties bij PPI-fabrikanten.

Gratis proefpakket

Wij sturen u het monster met gebruiksaanwijzing gratis toe.