La presión es cada vez más importante en la fabricación de semiconductores debido a la miniaturización de los semiconductores. Bajo esta circunstancia, los fabricantes de equipos de fabricación y materiales, así como los fabricantes de semiconductores, han comenzado a usar PRESCALE en diversas aplicaciones como “medición de la presión de pulido en un equipo de pulido mecánico químico (CMP)” “comprobación de la distribución de presión de una prensa de laminación en la fabricación de un plato electrostático o un calefactor cerámico” o “medición de la distribución de presión de una máquina de moldeado”, etc.
En esta página, presentaremos algunas aplicaciones a lo largo del proceso de fabricación de semiconductores. Por supuesto, hay muchas aplicaciones además de las siguientes, así que, si desea medir la presión superficial fácilmente y a bajo coste, no dude en solicitar nuestras muestras.
Procesar
Proceso front-end (operación de procesamiento de obleas)
1. Compra de obleas de silicio
Una oblea de silicio es una pieza de silicio de alta pureza con forma de disco. El tamaño de la oblea suele ser de 200mm/300mm.
Algunos fabricantes de semiconductores consideran ahora 450mm como un estándar de próxima generación.
2. Proceso de limpieza
Dado que hay varios tipos de iones de polvo o metal en la oblea inmediatamente después de la compra, se eliminan con ácido de alta pureza o productos químicos alcalinos.
3. Proceso de deposición de película
La película aislante y la película conductora usadas para semiconductores se depositan en una oblea.
4. Proceso de fotolitografía
Se dibuja (transfiere) un patrón de circuito en una oblea con una retícula.
Comprobación de la distribución de la luz UV
Comprobar la distribución de la luz UV irradiada en una fotomascarilla o una oblea. El UVSCALE cambia el color de su superficie según la cantidad de luz UV y esto le permite confirmar la distribución de la luz UV de toda la superficie de un vistazo. Por lo tanto, UVSCALE le ayuda a comprobar el mal funcionamiento de una lámpara UV.
5. Proceso de implantación de iones
Algunas impurezas como el fósforo y el boro que determinan las características eléctricas (tipo P, N) de los semiconductores se implantan en la oblea.
6. Proceso de grabado
Las películas depositadas se eliminan, excepto las películas bajo el patrón.
Comprobando la distribución de la presión de la prensa de laminación en la fabricación de mandriles electrostáticos y calefactores cerámicos.
Los productos cerámicos tales como un plato electrostático o un calefactor cerámico se fabrican a través de un proceso de prensa de laminado; sin embargo, el ajuste de la cerámica es muy difícil debido a su forma de polvo. Por otro lado, el alto paralelismo de un plato electrostático o un calefactor cerámico es esencial para que una oblea los absorba. Por lo tanto, los fabricantes de productos cerámicos usan PRESCALE para comprobar el paralelismo de sus productos o mantener sus cualidades.
- * La siguiente imagen es en caso de un plato electrostático.
Medición de la presión de contacto entre una oblea y un portabrocas electrostático.
En el proceso de deposición y grabado, una oblea adsorbe un plato electrostático y se calienta a través de un plato electrostático durante estos procesos. El paralelismo de un plato electrostático afecta directamente a la conductividad del calor entre una oblea y un plato electrostático, y esto puede causar efectos negativos en la calidad del semiconductor. Por lo tanto, algunos fabricantes de semiconductores comprueban la presión de contacto entre ellos con PRESCALE.
Medición de la distribución de la presión de contacto y el rango de presión en un brazo robótico
La PRESCALE se usa para desarrollar, mejorar o mantener brazos robóticos que operan en fábricas. Con la ayuda de PRESCALE, los trabajadores pueden correlacionar su distribución de color o densidad de color con el daño a la oblea, y pueden desarrollar y mejorar sus productos usando los datos de correlación.
7. Proceso de deposición
Una oblea está cubierta con películas aislantes que separan los cables por cada capa.
8. Proceso de pulido químico-mecánico
La superficie de una oblea se pule y aplana para facilitar los procesos posteriores.
Medición de la presión de pulido de un equipo de pulido de máquinas químicas (CMP)
La PRESCALE se usa para recopilar datos para desarrollar y mejorar equipos CMP o para mantener su funcionamiento en fábricas. Usan PRESCALE para correlacionar su distribución de color o densidad de color con el daño a la oblea, y desarrollan y mejoran sus productos usando los datos de correlación.
Proceso de back-end (proceso de ensamblaje)
9. Cinta de protección de la superficie de pegado
Se coloca una cinta de protección en la superficie del circuito o en una oblea para proteger un circuito durante el amolado posterior.
Comprobación de la distribución de la presión en la cobertura de una cinta de rectificado posterior con una oblea
La PRESCALE se usa para comprobar si la distribución de la presión es correcta o no. En particular, algunos fabricantes de semiconductores hacen esto para comprobar sus equipos cuando se encuentran algunos defectos en sus productos durante el proceso de back-end.
10. Proceso de contraafilado
El lado posterior de una oblea se pule para afinarla en su totalidad.
11. Pegado de cinta de corte en cuadraditos
Se aplica una cinta de corte en cuadraditos a una oblea para fijarla.
12. Proceso de corte en cuadraditos
Una oblea se corta en muchas puntas diminutas.
Comprobación de la distribución de luz UV en una cinta de corte en cuadraditos (UVSCALE)
UV scale se usa para comprobar la distribución de la cantidad total de luz UV irradiada. Si la luz UV se ha irradiado lo suficiente en una cinta de corte en cuadraditos, evitaría que la cinta se saliera de la oblea, lo que podría dañarla. Por lo tanto, es muy importante comprobar la distribución de la luz UV en toda la superficie de una cinta de corte en cuadraditos.
13. Proceso de montaje
Hay una punta montada en un marco metálico de plomo.
Comprobación de la presión de contacto entre una oblea y una boquilla de aspiración
PRESCALE se usa para recopilar datos para desarrollar y mejorar la boquilla de aspiración o para mantener su correcto funcionamiento en fábricas. PRESCALE puede correlacionar su distribución o densidad de color con el daño a la oblea, y ayudar a desarrollar y mejorar productos usando los datos.
14. Proceso de unión (unión de alambre)
Hay una punta conectada a los electrodos del marco del cable con cables dorados.
Medición de la presión de sujeción
PRESCALE se usa para recopilar datos de presión de sujeción para desarrollar equipos.
15. Proceso de moldeado
Una punta está moldeada para ser un envase con un encapsulante resinoso.
Comprobando la presión de moldeado de una máquina de moldeado
PRESCALE se usa para comprobar la distribución de la presión y el rango de presión en equipos de moldeado. Los fabricantes de equipos de moldeado usan esta película para inspeccionar la calidad de sus equipos antes de enviarlos o enviar esta película a sus clientes como certificación.
16. Proceso de marcado
El nombre del producto o del fabricante está marcado en el paquete.
17. Proceso de inspección
Las puntas inspeccionadas de buena calidad se envían.
Sustratos semiconductores
Sustratos rígidos
Sustratos flexibles
Transistores
Medición de la distribución de la presión durante un proceso de laminado de una lámina verde en la fabricación de sustratos rígidos
La PRESCALE se usa para indicar la distribución de la presión durante un proceso de laminado de una lámina verde en la fabricación de sustratos rígidos.
Medición de la distribución de la presión de las máquinas de laminación al vacío
PRESCALE se usa para medir la distribución de la presión de las máquinas de laminación al vacío. Los fabricantes de máquinas laminadoras al vacío usan esta película para inspeccionar la calidad de sus máquinas antes de enviarlas, inspeccionar las máquinas que trabajan en las fábricas de sus clientes o enviar películas como certificaciones.
Comprobando la distribución de presión de PPI (Press Pack IEGT)
PRESCALE se usa para comprobar la distribución de la presión de PPI (Press Pack IEGT). Esta es una de las inspecciones de calidad de los fabricantes de PPI.
Muestra gratuita
Le enviamos la muestra de forma gratuita con instrucciones de uso.