デジタル機器の進歩を支えるエレクトロニクス材料
近年、エレクトロニクス分野での最先端のデバイスは微細加工のレベルがナノ領域へと進み、製造工程に使用される化学材料の品質は、極めて高度な品質レベルが要求されております。 当社は長年にわたって培ってきた開発・製造・分析技術を活用し、高品質な電子工業用薬品、酸発生剤、ポリマーを安定的に提供しております。近年ではお客さまの高度な品質要望に応えるべく、一桁ppbオーダーでの金属管理・保証を実現しました。
光酸発生剤(WPAGシリーズ)
当社の光酸発生剤は、主要なレジストメーカーのLSI製造用エキシマレジストにおいて、高い品質と性能が実証されています。高品質なものから汎用グレードまでの幅広い製品を供給することが可能であり、お客さまが希望する酸発生剤の受託合成もうけたまわります。
フォトレジスト用ポリマー
各種KrF用レジストポリマーを取り揃えております。ご要望に応じ、さまざまな保護基の受託合成から、導入率の調整、低金属グレードでのご提供が可能です。