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イメージセンサー・ウェーハレベルレンズアプリケーション用の遮光およびブラックマトリックスレジスト

イメージセンサー(IS)およびウェーハレベルレンズ(WLL)アプリケーション用の遮光およびブラックマトリックスレジスト

製品仕様

特徴 角度依存性なし(吸収タイプ)
低膜厚と高リソグラフィー特性
可視光域から近赤外域までの高い遮光性能
膜厚が薄く均一性が良い
スペクトル 可視光域および近赤外 光域(NIR)
透過率 ノンカーボンブラック(NCB):300-1800nm まで高遮光・低反射率
カーボンブラック:300-700nm まで高遮光・低反射率
露光量 50~2500mJ/cm2 (i-line)
信頼性 優れた耐熱性と耐光性

製品ラインアップ

  • SK-7000シリーズ
  • SK-8010シリーズ
  • SK-9000シリーズ