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温度制御パネル

温度調節器

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フロントローディングが容易で、前駆体の温度を精密に制御

TC2000™ は、処理中の前駆体温度を正確に制御し、安定した蒸気圧を保証します。 

  • フロントローディング
  • 自動再充填用に事前装備
  • ほとんどの業界標準のアンプルに適合
  • 1.5リットル容器サイズに対応
  • 柔軟なデザイン

製品ラインアップ

TC2000™ - 温度調節器 

  • 3つの温度範囲 
    • 冷却/加熱 15˚C~40˚C
    • 加熱 35˚C~70˚C
    • 超高温加熱 55˚C~90˚C
  • 3つのハードウェア構成
    • スタンドアロン
    • リモートエレクトロニクス
    • ラック搭載型