특징 & 장점
- 넓은 공정 허용도
- 스프레이 및 배치 도구 애플리케이션과 호환
- 하이드록실아민(HA) 용제 기반 세정제보다 높은 비용 장점 - 직접 탈이온화수 린스액
- IPA 헹굼을 위한 화학 물질 비용 제거
- IPA 헹굼 단계를 제거하여 처리량 증가
- 안전하고 사용하기 쉬움
- 우수한 공정 장비 재료 호환성
- 우수한 금속 및 ILD 호환성
- 포장재 옵션:
- 4L HDPE 병
- 200L 드럼
세정제
알루미늄 및 구리 합금, 반사 방지 층, SiO2, low-k 유전체의 수성 포스트 애쉬 잔여물 세정제
