한국

세정제

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알루미늄 및 구리 합금, 반사 방지 층, SiO2, low-k 유전체의 수성 포스트 애쉬 잔여물 세정제

특징 & 장점

  • 넓은 공정 허용도
  • 스프레이 및 배치 도구 애플리케이션과 호환
  • 하이드록실아민(HA) 용제 기반 세정제보다 높은 비용 장점 - 직접 탈이온화수 린스액 
    • IPA 헹굼을 위한 화학 물질 비용 제거
    • IPA 헹굼 단계를 제거하여 처리량 증가
  • 안전하고 사용하기 쉬움
  • 우수한 공정 장비 재료 호환성
  • 우수한 금속 및 ILD 호환성
  • 포장재 옵션:
    • 4L HDPE 병
    • 200L 드럼