FUJIFILM Electronic Materials 구리 슬러리는 최첨단 기술을 통한 1세대 구리 배선용으로 설계되었습니다.
구리 CMP 슬러리 - 응용
FUJIFILM Electronic Materials 구리 CMP 슬러리는 구리 오버필을 제거하여 하부의 다마신 배선을 노출하도록 설계되었습니다.
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화학적 기계적 평탄화 공정(CMP)은 오늘날의 전자 제품에 사용되는 고급 반도체 장치 또는 ‘마이크로칩’ 제조에 매우 중요한 공정입니다. -
배리어 CMP 슬러리
FUJIFILM Electronic Materials 배리어 CMP 슬러리는 구리 제거 단계 후 노출된 배리어 메탈을 제거하고 웨이퍼 표면 전체의 모든 필름을 평탄화하도록 설계되었습니다.
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최신 메탈 슬러리
FUJIFILM Electronic Materials 코발트 CMP 슬러리는 고급 코발트 배선 연마 중에 코발트 및 배리어 메탈을 연마해서 회로의 모든 필름을 평탄화하도록 설계되었습니다.
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프론트 엔드 CMP 슬러리
FUJIFILM Electronic Materials 프론트 엔드 CMP 슬러리는 high-K 금속 게이트, 고급 유전체, 3차원 FinFET 트랜지스터 및 자체 정렬 접점과 같은 고급 트랜지스터 기술을 활용하는 장치에 맞게 설계되었습니다.
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포스트 CMP 클리너
FUJIFILM Electronic Materials 포스트 CMP 클리너는 금속 표면을 보호하면서 입자, 미량 금속 및 유기 잔류물을 세척하도록 설계되었습니다.
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