Yarı iletkenin minyatürleştirilmesi nedeniyle yarı iletkenlerin üretiminde basınç giderek önem kazanmaktadır. Bu şartlar altında, imalat ekipmanı ve malzeme üreticileri ile yarı iletken üreticileri, “Kimyasal Mekanik Cilalama (CMP) ekipmanında cilalama basıncını ölçme” ”Elektrostatik ayna veya Seramik ısıtıcı üretiminde laminasyon presinin basınç dağılımını kontrol etme” veya ”kalıplama makinesinin basınç dağılımını ölçme” gibi çeşitli uygulamalarda PRESCALE kullanmaya başlamıştır.
Bu sayfada, yarı iletken üretim süreci boyunca bazı uygulamaları tanıtacağız. Tabii ki, aşağıdakilerin yanı sıra çok sayıda uygulama vardır; bu nedenle yüzey basıncını kolayca ve düşük maliyetle ölçmek isterseniz lütfen numunelerimizi talep etmekten çekinmeyin.
Proses
Ön uç işlemi (Yonga plakası prosesi işlemi)
1. Silikon yonga plakalarının satın alınması
Bir silikon yonga plakası, disk şeklinde yüksek saflıkta bir silikon parçasıdır. Yonga plakası boyutu genellikle 200mm/300mm’dir.
Bazı yarı iletken üreticileri artık 450mm’yi yeni nesil bir standart olarak görmektedir.
2. Temizleme işlemi
Yonga plakasında satın alındıktan hemen sonra çeşitli toz veya metal iyonları bulunduğundan, bunlar yüksek saflıkta asit veya alkali kimyasallarla temizlenir.
3. Film biriktirme işlemi
Yarı iletkenler için kullanılan yalıtıcı film ve iletken film bir yonga plakasında birikir.
4. Fotolitografi işlemi
Retiküllü bir yonga plakasında bir devre modeli çizilir (aktarılır).
UV ışığının dağılımını kontrol etme
Foto maske veya yonga plakasında ışınlanan UV ışığının dağılımını kontrol etme. UVSCALE, UV ışığı miktarına göre yüzey rengini değiştirir ve bu da tüm yüzeyin UV ışığı dağılımını bir bakışta doğrulamanıza olanak tanır. Böylece UVSCALE, UV lambasının arızalarını kontrol etmenize yardımcı olur.
5. İyon implantasyon süreci
Yarı iletkenlerin elektriksel özelliklerini (P, N tipi) belirleyen fosfor ve bor gibi bazı safsızlıklar yonga plakasına implante edilir.
6. Oyma işlemi
Biriken filmler, kaydın deseni altındaki filmler hariç olmak üzere çıkarılır.
Elektrostatik aynalar ve seramik ısıtıcılar üretiminde laminasyon presinin basınç dağılımının kontrol edilmesi.
Elektrostatik ayna ya da seramik ısıtıcı gibi seramik ürünler laminasyon presleme işlemi ile üretilir; ancak seramiklerin ayarlanması toz formlarından dolayı çok zordur. Öte yandan, bir elektrostatik aynanın veya seramik ısıtıcının yüksek paralelliği, bir yonga plakasının bunları emmesi için çok önemlidir. Dolayısıyla seramik ürünleri üreticileri, ürünlerinin paralelliğini kontrol etmek veya kalitelerini korumak için PRESCALE kullanır.
Yonga plakası ile elektrostatik ayna arasındaki temas basıncının ölçülmesi.
Bir biriktirme ve aşındırma işleminde, bir yonga plakası elektrostatik bir aynayı yüzeye tutar ve bu işlemler sırasında elektrostatik bir ayna aracılığıyla ısıtılır. Elektrostatik aynanın paralelliği, yonga plakası ile elektrostatik ayna arasındaki ısı iletkenliğini doğrudan etkiler ve bu da yarı iletkenin kalitesi üzerinde kötü etkilere neden olabilir. Bu nedenle, bazı yarı iletken üreticileri aralarındaki temas basıncını PRESCALE ile kontrol eder.
Robot kolunda temas basıncı dağılımı ve basınç aralığının ölçülmesi
PRESCALE, robot kollarının fabrikalarda çalıştırılmasını geliştirmek, iyileştirmek ve/veya sürdürmek için kullanılır. Fabrika çalışanları PRESCALE'ın yardımıyla renk dağılımını veya renk yoğunluğunu yonga plakasındaki hasarla ilişkilendirebilir ve korelasyon verilerini kullanarak ürünlerini geliştirebilir ve iyileştirebilirler.
7. Biriktirme süreci
Bir yonga plakası, kabloları her bir katmana ayıran yalıtım filmleri ile kaplıdır.
8. Kimyasal-mekanik cilalama işlemi
Daha sonraki süreçleri kolaylaştırmak için bir yonga plakası yüzeyi parlatılır ve düzleştirilir.
Bir kimyasal makine cilalama (CMP) ekipmanının cilalama basıncının ölçülmesi
PRESCALE, CMP ekipmanlarını geliştirmek ve iyileştirmek veya fabrikalardaki operasyonlarını sürdürmek için veri toplamak amacıyla kullanılır. Renk dağılımını veya renk yoğunluğunu yonga plakasındaki hasarla ilişkilendirmek için PRESCALE kullanırlar ve korelasyon verilerini kullanarak ürünlerini geliştirir ve geliştirirler.
Arka uç süreci (Montaj süreci)
9. Yapıştırma yüzeyi koruma bandı
Ters taşlama sırasında bir devreyi korumak için devre yüzeyine veya yonga plakasına bir koruma bandı takılır.
Arka taşlama bandını yonga plakasıyla kaplamada basınç dağılımının kontrol edilmesi
Basınç dağılımının doğru olup olmadığını kontrol etmek için PRESCALE kullanılır. Özellikle, bazı yarı iletken üreticileri, arka uç süreci sırasında ürünlerinde bazı kusurlar bulunduğunda ekipmanlarını kontrol etmek için bunu yapar.
10. Ters taşlama işlemi
Bir yonga plakasının arka tarafı, genel olarak ince olacak şekilde taşlanmıştır.
11. Küp dizileme bandının yapıştırılması
Sabitlemek için bir yonga plakasına bir küp dizileme bandı uygulanır.
12. Küp dizileme işlemi
Bir yonga plakası, çok sayıda küçük uç halinde kesilir.
Bir küp dizileme bandında UV ışığının dağılımının kontrol edilmesi (UVSCALE)
Işınlanmış UV ışığının toplam miktarının dağılımını kontrol etmek için UV ölçeği kullanılır. UV ışığının bir küp dizileme bandına yeterince ışınlanması, bandın yonga plakasından çıkmasını engeller ve bu da yonga plakasına zarar verebilir. Bu nedenle, küp dizileme bandının tüm yüzeyindeki UV ışığının dağılımının kontrol edilmesi çok önemlidir.
13. Montaj işlemi
Metal kurşun çerçeveye bir uç monte edilir.
Yonga plakası ile emiş nozulu arasındaki temas basıncının kontrol edilmesi
PRESCALE, emiş nozulu geliştirmek ve iyileştirmek veya fabrikalarda doğru çalışmalarını sürdürmek için veri toplamak amacıyla kullanılır. PRESCALE renk dağılımını veya renk yoğunluğunu yonga plakasındaki hasarla ilişkilendirebilir ve veriler kullanılarak ürünlerin geliştirilmesine ve iyileştirilmesine yardımcı olabilir.
14. Yapıştırma (tel bağlama) işlemi
Uç, altın tellerle kurşun çerçevedeki elektrotlara bağlanır.
Sıkıştırma basıncını ölçme
PRESCALE, ekipman geliştirmek için sıkıştırma basıncı verilerini toplamak için kullanılır.
15. Kalıplama işlemi
Bir uç, reçineli bir kapsülleyici içeren bir paket olacak şekilde kalıplanmıştır.
Bir kalıplama makinesinin kalıplama basıncını kontrol etme
PRESCALE, kalıplama ekipmanlarında basınç dağılımını ve basınç aralığını kontrol etmek için kullanılır. Kalıplama ekipmanı üreticileri bu filmi, ekipmanını göndermeden önce kalitelerini denetlemek veya bu filmi müşterilerine sertifikasyon olarak göndermek için kullanır.
16. İşaretleme işlemi
Ürün adı veya üretici adı ambalaj üzerinde işaretlenmiştir.
17. İnceleme süreci
İyi ürünler sevk edilmesi için uçlar incelenir.
Yarı iletken substratlar
Rijit substratlar
Esnek substratlar
Transistörler
Rijit substratların üretiminde yeşil bir tabakanın lamine edilmesi işlemi sırasında basınç dağılımının ölçülmesi
PRESCALE, rijit substratların üretiminde yeşil bir tabakanın lamine edilmesi işlemi sırasında basınç dağılımını belirtmek için kullanılır.
Vakumlu laminasyon makinelerinin basınç dağılımının ölçülmesi
PREACALE, vakumlu laminasyon makinelerinin basınç dağılımını ölçmek için kullanılır. Vakumlu laminasyon makinesi üreticileri, nakliyeden önce makinelerinin kalitesini incelemek, müşterilerinin fabrikalarında çalışan makineleri denetlemek veya sertifika olarak filmler göndermek için bu filmi kullanır.
PPI'nın basınç dağılımının kontrol edilmesi (Baskı Paketi IEGT)
PRESCALE, PPI'nın basınç dağılımını kontrol etmek için kullanılır (Baskı Paketi IEGT). Bu, PPI üreticilerindeki kalite denetimlerinden biridir.
Ücretsiz numune
Numuneyi size kullanım talimatlarıyla birlikte ücretsiz olarak göndeririz.