高い信頼性が求められる基板業界のニーズに応え、「フォトマスクフィルム修正の低減」に貢献するプロッターフィルム。「使いやすさ」を重視した改良により、「高濃度」「高感度」「ディフェクトレス」に加え、さまざまな現像液で処理できる「圧倒的なタフネス」を実現しています。
現像液のpH変動に対する感度変化を抑える新技術を採用。また、現像液タイプに関わらず安定した処理が可能です。現像液疲労時に発生しやすい「処理黒ポツ」が発生しません。
光学濃度が従来品に比べ10％向上。高濃度化により、露光阻害に起因するピンホールを低減し、修正作業の削減に貢献します。
配線パターンの忠実な再現性により、つねに安定した仕上がりが得られます。
- フィルム製造工程のさらなるクリーン化と、溶融押し出し工程の温度最適化・安定化により、フィルムベースが関わるディフェクト（ベース内異物等）を大幅に削減。高い信頼性と安定性が要求される配線パターンの異物接触、カケを防止し、フィルム検査時間の短縮と、歩留まりの大幅改善に貢献します。
- 輸送中に発生するディフェクト要因を、新パッケージがシャットアウト。パッケ一ジは、“クリーンルーム外で開封し、クリーンルーム内には特殊包装紙のみを持って入る仕組み”になっているため、紙粉やホコリなどによるトラブルが防げ、クリーンルーム内のクリーン度の維持・管理が容易に行なえます。
- フィルムのバッキング層に“導電性粒子”を付加し、フィルムから静電気を追放。静電気によるゴミやホコリの付着を防止し、修正作業を軽減します。
- 低湿度環境においても処理後のフィルムにおいても永久的な帯電防止の効果を発揮。乾燥時期の「ゴミやホコリの付着」や、密着反転時の「静電気スパ一クかぶり」などのトラブルも防止します。
- レーザーフォトプロッター～自動現像機への連続自動フィルム搬送における、静電気に起因するジャミングトラブルも防げます。
