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赤、緑、青の液体が満たされた3個のビーカー

クリーナー

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アルミニウム合金、銅合金、反射防止層、SiO2 およびLow-k誘電体上の灰化後含水残渣クリーナー

赤、緑、青の液体が満たされた3個のビーカー

Al/SiO2 およびCu/Low-kのBEOL(配線工程)の両プロセスに対する非常に効果的な灰化後含水残渣クリーナーです。

用途には、アルミニウム合金、反射防止層、SiO2 誘電体のビアホール、金属線、接着パッドレベルのエッチング残渣の除去、または銅、Low-k(低誘電率)、ULK(超低誘電率)材料との適合性を利用したダマシンプロセスでのエッチング残渣の除去が含まれます。

お客さまのプロセスニーズに最適な富士フイルムのクリーナーの詳細については、当社までお問い合わせください。