Al、Cu、および超低誘電率 BEOL プロセスと互換性のある、非常に効果的な水性ポストエッチングクリーナーです。
お客さまのプロセスニーズに最適なクリーナーの詳細については、お問い合わせください。
- プロセスの自由度が広い
- スプレーおよびバッチツールアプリケーションとの互換性
- 溶剤ベースのクリーナーに比べて運用コストが有利 - 直接超純水リンス
- リンス用化学品の追加コスト削減およびスループットの向上
- 安全で使いやすい
- 先端プロセス装置材料との互換性
- 優れた金属、ILD、ULK 互換性
- 製品の純度は、最先端の分析ツールを使用して継続的に検証される
- 米国およびアジアの工場で製造およびパッケージ化される
- エッチングの種類によりグレードが異なる
- 特定の製品は界面活性剤の有無に関わらず提供される
- さまざまなエッチングの種類については、「用途」を参照してください。
- 梱包オプション
- 4Lボトル×4本
- 200L ドラム缶（one-wayまたはリターナブル）
- 1000L トート（one-wayまたはリターナブル）
- バルク供給 (場所によって異なります)
- 詳細についてはお問い合わせください。
