クリーナー NEW アルミニウム合金、銅合金、反射防止層、SiO2 およびLow-k誘電体上の灰化後含水残渣クリーナー お問い合わせ Share 閉じる 概要 特長 用途 アルミニウム合金、反射防止層、SiO2誘電体のビアホール、金属線、接着パッドレベルのエッチング残渣を除去 銅、Low-k（低誘電率）、ULK（超低誘電率）材料との適合性を利用して、ダマシンプロセスでエッチング残渣を除去
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