日本
赤、緑、青の液体が満たされた3個のビーカー

クリーナー

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アルミニウム合金、銅合金、反射防止層、SiO2 およびLow-k誘電体上の灰化後含水残渣クリーナー

製造チェーン
  • アルミニウム合金、反射防止層、SiO2誘電体のビアホール、金属線、接着パッドレベルのエッチング残渣を除去
  • 銅、Low-k(低誘電率)、ULK(超低誘電率)材料との適合性を利用して、ダマシンプロセスでエッチング残渣を除去