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半導体材料

イメージセンサー用・特殊効果材料 Wave Control Mosaic® (WCM®)

CMY

CMY : 用途

色の三原色(CMY)のイメージ

CMY : 用途

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イメージセンサーアプリケーション用の補色フィルター材料

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COLOR MOSAIC^®のCMYシリーズは、携帯電話や車載カメラなどに搭載されるCMOSやCCDなどのイメージセンサーの基幹部材であるマイクロカラーフィルターとして使われています。
COLOR MOSAIC^®のCMYシリーズは、高い透過率特性によりイメージセンサーデバイスの感度向上を実現します。
COLOR MOSAIC^®のCMYシリーズは、微細リソグラフィー加工特性を有しており、半導体素子製造に要するコーターやi-Lineステッパーなどの露光プロセスとの互換性を有しております。

透過率曲線

CMYカラーレジストは、それぞれ色（CMY）の波長の透過率のみ高くなっていることをを示したグラフ。

パターンビュー（1.1um）

Cyan(左),Yellow(中央),Magenta(右)のカラーレジストを現像したものの、1.1umのSEM画像。

Cyan（左）、Yellow（中央）、Magenta（右）