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ホーム ビジネスのお客さま 半導体材料 CVD前駆体・ケミカルデリバリーシステム ケミカルデリバリーシステム(CDS)ソリューション
複数の銀色の筒が重ねて置いてあるイメージ画像。

ケミカルデリバリーシステム(CDS)ソリューション : 概要

多くの化学品に適合する体系で設計されたケミカルデリバリーシステム

富士フイルムの Genstream™高純度特殊化学薬品供給システムは、半導体化学薬品と互換性があり、高度な最先端ファブに適合するように特別に設計されました。
富士フイルムの Genstream™は、使いやすく保守しやすく、プロセスに価値を提供できるように慎重に設計されています。完全にモジュール式である富士フイルムの Genstream®システム ソリューションは、最小限の資本投資で特定のプロセスのニーズに対応できるように独自にカスタマイズできます。 Genstream™の見積依頼または注文を行うには、[お問い合わせ]タブをクリックして問い合わせフォームに記入いただくか、当社チーム(+1-800-553-6546)までお電話ください。

特長
  • 正面からのフルアクセス
  • スケールをスライドさせて取り出す
  • 分離された電子機器
  • 上部の開口部キャビネットから簡単にアクセスできる
  • 化学的検証
  • 流出検知
  • ステップバイステップのソフトウェア
  • 自動パージ
  • パスワード保護された動作モード
  • オープンアーキテクチャ、プロセスやコンテナの特許なし
  • どのサプライヤーのコンテナでも使用可能
  • 1.2L~200Lの容器サイズに対応
  • ロジック、DRAM、ASIC、DSPなどに使用される
  • すべての主要な OEM ツールで使用中
  • 多数の主要エンドユーザーにおけるBKM
  • 世界的な存在感
  • Genstream™3000 先進的な総合化学物質送達システム