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温度制御パネル

温度調節器

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容易なフロントローディングを備え、前駆体の温度を精密に制御可能

TC 2000は、処理中の前駆体温度を正確に制御し、安定した蒸気圧を保証します。

製品ラインアップ

TC2000™ - 温度コントローラー

  • 3つの温度範囲
    • CH - 冷却/加熱 15˚C~40˚C
    • H - 加熱 35˚C~70˚C
    • HH - 超高温加熱 55˚C~90˚C
  • 3つのハードウェア構成
    • クラシック - スタンドアロン
    • R - リモートエレクトロニクス
    • RM - ラック搭載型