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ホーム ビジネスのお客さま 半導体材料 CVD前駆体・ケミカルデリバリーシステム 温度調節器
温度制御パネル

温度調節器 : 概要

フロントローディングの容易さによる前駆体の正確な温度制御

TC2000™は、処理中に前駆体温度を正確に制御し、安定した蒸気圧を保証します。

製品ラインアップ

TC2000™ -温度コントローラー

特長
  • 3つの温度範囲 
    • CH - 冷却/加熱 15°C ~ 40°C
    • H - 35°C ~ 70°C に加熱
    • HH - 超加熱 55°C ~ 90°C
  • 3つのハードウェア構成
    • クラシック – スタンドアロン
    • R - リモート電子機器
    • RM - ラックマウント型
  • フロントローディング
  • 自動再充填用に事前装備
  • ほとんどの業界標準のアンプルに適合
  • 1.2リットル容器サイズに対応
  • 柔軟なデザイン