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リソグラフィープロセス用の幅広い化学品を提供します。
さまざまのリソグラフィアプリケーション向け超高純度溶剤を揃えています。ラインクリーナー、レジストエッジビード除去（EBR）、ネガトーンイメージング、リンス、プリウェットアプリケーション
最新のフォトレジストアプリケーションでは、精密な剥離、除去、およびリンス特性が求められます。そのため、富士フイルムは、純度、パッケージング、および環境保護の業界標準を維持しながら、世界クラスのエッジビード除去を提供する EBR ソリューションの完全なラインを開発しました。
富士フイルムは、浸漬およびインライン トラック現像に適した、高度なポジ型レジスト システム用の Ready-to-Use（RTU）および濃縮ポジ現像液の両方を提供します。
富士フイルムのフォトレジスト剥離液は、AlとCuの両方の技術において、現在の業界標準を上回る処理の選択肢と性能上の利点を提供します。これらの材料は、枚葉式およびバッチプロセスでのバルクおよび厚めっきフォトレジストの湿式除去に使用されます。
