フォトレジスト付属品

リソグラフィプロセス用の幅広い湿式化学品

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当社は、プリウェット、エッジ除去、カップリンス、現像、フォトレジスト剥離、除去およびリンスなど、リソグラフィプロセス用の幅広い化学品を提供しています。

現像液

ポジ型およびネガ型レジストシステム用の金属イオン含有（MIC）および金属イオンフリー（MIF）現像液を幅広く取り揃えています。

溶剤

レジストのエッジビード除去（EBR）、再加工、リンスおよびプリウェット用途の幅広い特殊な溶剤ブレンド。高度なリソグラフィプリウェット用途に対応した超高純度溶剤。

フォトレジスト剥離液

ポジ型およびネガ型フォトレジスト除去用の溶剤系剥離液