ポジ型現像液は、高度な半導体アプリケーション向けの超高純度グレードを含む、複数の品質グレードレベルを備えた TMAH ベースの現像液です。製品は界面活性剤の有無にかかわらず提供しており、オンサイトでのブレンド能力がある顧客向けに濃縮タイプで購入することもできます。
- RTU製品（希釈が不要）
- 界面活性剤を含まない現像液（TMAH 2.38wt％）
- 界面活性剤を含む現像液（TMAH 2.38wt％）
- 濃縮製品（希釈が必要）
- TMAH 24.9％ 濃縮液
- 界面活性剤を含む 10％ TMAH*1
- *1 濃縮TMAHと界面活性剤はお客さまによる希釈用に事前に配合されています
- 高度な半導体アプリケーション向けの高純度オプション
- 大量生産向けの濃縮液およびバルク供給オプション
- EUVリソグラフィ用途に対応
- 梱包オプション
- 1000Lトート（使い捨てまたはリターナブル）
- 200Lドラム缶（使い捨てまたはリターナブル）
- バルク供給（場所によって異なります）
- 4Lボトル4本
