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ホーム ビジネスのお客さま 半導体材料 ポリイミド・ポリベンゾオキサゾール(PBO)材料 感光性ポリベンゾオキサゾール(PBO) - 水系現像タイプ
シリコンウェーハ

感光性ポリベンゾオキサゾール(PBO) - 水系現像タイプ : 概要

バッファーコートおよびRDL(再配線層)用に設計および最適化されているポリベンゾオキサゾール(PBO)製品

富士フイルムの化学増幅系PBO製品は、高い信頼性と低コストを実現します。

製品ラインアップ
  • FB5000シリーズ 
    • FB5000シリーズ: 化学増幅型のPBO前駆体で、光画像形成可能なポジ型材料であり、水性現像が可能です。バッファーコート、RDL(再配線層)、およびパッシベーション層用に最適化されています。
特長
  • PBOケミストリーをベースにした高コントラストのポジ型材料
  • g線、i線、またはブロードバンド光の露光装置を使用した光画像形成
  • 吐出量削減が可能な低粘度
  • 高い信頼性を実現する優れた機械特性
  • 高感度、少ない膜減り(dark film loss)。高いスループットを実現
  • NMP(N-メチル-2-ピロリドン)フリー