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シリコンウェーハ

現像液

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ポジ型およびネガ型レジストシステム用の金属イオン含有(MIC)および金属イオンフリー(MIF)現像液を幅広く取り揃えています。

液浸およびインライントラック現像に適した金属イオンフリー(MIF)フォトレジスト現像液、金属イオン含有(MIC)現像液を幅広く取り揃えています。 

  • 界面活性剤を添加した独自の多成分配合物
  • パッケージのオプション: 
    • 4リットルボトル4本
    • 200リットルのドラム缶(1wayまたはリターナブル)
    • 1000リットルのIBC 
    • バルクデリバリー

製品ラインアップ

  • OPD 262:界面活性剤無添加の現像液
  • OPD 4262:幅広く適用可能な界面活性剤入り現像液
  • OPD 4280:幅広く適用可能な界面活性剤入り現像液

その他のアルカリ溶液や界面活性剤も取り揃えています。
詳細は当社までお問い合わせください。 

  • WNRD:ネガ型レジスト現像液