このウェブサイトはクッキーを使用しています。このサイトを使用することにより、プライバシーポリシーに同意したことになります。

日本
ホーム ビジネスのお客さま 半導体材料 フォトレジスト付属品 NTI現像液 NTI現像液:用途
実験装置に繋がっている底が丸いビーカーの中が光っているイメージ画像。

NTI現像液 : 用途

最新のフォトレジストアプリケーションでは、精密な剥離、除去、およびリンス特性が求められます。そのため、富士フイルムは、純度、パッケージング、および環境保護の業界標準を維持しながら、世界クラスのエッジビード除去を提供する EBR ソリューションの完全なラインを開発しました。

半導体製造チェーン内の富士フイルム製品のポートフォリオのイメージ図。シリコンウェハーを準備し、パターン&エッチングした後に除去の工程でCMPを使用、堆積層もしくは層電気的性質を変更する。その後保護膜形成&RDL、ダイシングしICチップができる。
  • エッジビード除去(EBR)
  • プリウェット
  • 裏面リンス
  • カップのすすぎ
  • ノズルクリーン