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シリコンウェーハ

その他現像液 : 用途

富士フイルムは、浸漬およびインライン トラック現像に適した、高度なポジ型レジスト システム用の Ready-to-Use(RTU)および濃縮ポジ現像液の両方を提供します。

半導体製造チェーン内の富士フイルム製品のポートフォリオのイメージ図。シリコンウェハーを準備し、パターン&エッチングした後に除去の工程でCMPを使用、堆積層もしくは層電気的性質を変更する。その後保護膜形成&RDL、ダイシングしICチップができる。

富士フイルムは、ネガ型フォトレジスト、g線、i線、および高度なフォトレジストのリソグラフィパターニング用に、高純度の金属イオンフリー(MIF)および金属イオン含有(MIC)現像液を幅広く提供しています。