日本

レーザー干渉計(測定機)

ラインアップ

FUJIFILM干渉計は、サンプルの材質によらず、研磨面(鏡面)であればほとんど非接触観測が可能です。
また、干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃っており、使いやすさを追求した高機能・高性能計測システムとなっております。
高精度平面板(ガラス、金属、セラミックなど)の平面度測定、光学レンズ、鋼球、プラレンズの面精度測定など、さまざまな用途に対応する干渉計をご用意しておりますので、高精度測定にぜひお使いください。

平面測定システム

富士フイルム平面測定システムは、ガラス・金属・セラミックなどの高精度な平面板をはじめ、さまざまな平面形状のものをナノメータオーダーで測定できる光学業界のデファクトスタンダードです。
また、非接触による測定で被検体にキズを付けることなく、簡単に合否判定ができます。

ガラス系

  • カバーガラス(スマートフォン用など)
  • プリズム(色分解光学系など)
  • 半導体マスク基盤
  • 各種フィルター
  • 液晶用ガラス

干渉縞

金属系

  • 金型
  • アルミディスク

干渉縞

その他

  • シリコンウェーハ(電子機器用半導体デバイス用)
  • ハードディスク用基板
  • その他(蛇口用部品など)​​​​​​

干渉縞

製品名 測定対象 有効光束径(mm) 基準面精度 拡大倍率

コンパクトレーザー干渉計 F601

平面・透過波面

φ60

λ/20

×1

φ102/φ150レーザー干渉計 G102

平面・透過波面

φ102 
φ150
λ/20 ×1~×8.6
φ102/φ150レーザー干渉計 G102S 平面・透過波面 φ102
φ150
P-V値
32nm
×1~×6

 

球面測定システム

富士フイルム球面測定システムは、レンズ・鋼球・型などの高精度な球面をはじめ、さまざまな球面形状のものをナノメータオーダーで測定できる光学業界のデファクトスタンダードです。
また、非接触による測定で被検体にキズを付けることなく、簡単に合否判定ができます。

ガラス系

  • 各種球面レンズ
    (デジタルカメラ、車載、セキュリティ、センサー、コンタクトレンズ、複写など)

干渉縞

金属系

  • 鋼球
  • ベアリング
  • 型(最大φ60mm程度)

干渉縞

その他

  • プラ用型(コンタクトレンズなど)
  • 各種フィルター

干渉縞

製品名 測定対象 有効光束径(mm) 基準面精度 拡大倍率

コンパクトレーザー干渉計 F601

球面・透過波面

φ60

λ/20

×1

ニュートン縞検査装置 F601FCII

球面

φ60 λ/20 ×1

 

縞解析装置

干渉計で得られた干渉縞を解析し、表面形状や透過波面形状を数値化、ビジュアル化することで、測定結果を詳細分析することができるため、開発や品質管理の向上に貢献します。

製品名 表示項目 解析画素数 その他の機能

縞解析装置 A1

P-V値
RMS値
鳥瞰図
等高線図
断面図
ヒストグラム
ザイデル収差
ゼルニケ多項式係数

256 × 256
512 × 512

データ保存
合否判定
Code V出力
データサブトラクション