レーザー干渉計（測定機）

ラインアップ

FUJIFILM干渉計は、サンプルの材質によらず、研磨面（鏡面）であればほとんど非接触観測が可能です。
また、干渉縞を自動的に解析し数値化する縞解析装置も揃っており、使いやすさを追求した高機能・高性能計測システムとなっております。
高精度平面板（ガラス、金属、セラミックなど）の平面度測定、光学レンズ、鋼球、プラレンズの面精度測定など、さまざまな用途に対応する干渉計をご用意しておりますので、高精度測定にぜひお使いください。

平面測定システム

富士フイルム平面測定システムは、ガラス・金属・セラミックなどの高精度な平面板をはじめ、さまざまな平面形状のものをナノメータオーダーで測定できる光学業界のデファクトスタンダードです。
また、非接触による測定で被検体にキズを付けることなく、簡単に合否判定ができます。

ガラス系

カバーガラス（スマートフォン用など）
プリズム（色分解光学系など）
半導体マスク基盤
各種フィルター
液晶用ガラス

干渉縞

金属系

金型
アルミディスク

干渉縞

その他

シリコンウェーハ（電子機器用半導体デバイス用）
ハードディスク用基板
その他（蛇口用部品など）

干渉縞

製品名	測定対象	有効光束径（mm）	基準面精度	拡大倍率
コンパクトレーザー干渉計 F601	平面・透過波面	φ60	λ/20	×1
φ102/φ150レーザー干渉計 G102	平面・透過波面	φ102 φ150	λ/20	×1～×8.6
φ102/φ150レーザー干渉計 G102S	平面・透過波面	φ102 φ150	P-V値 32nm	×1～×6

球面測定システム

富士フイルム球面測定システムは、レンズ・鋼球・型などの高精度な球面をはじめ、さまざまな球面形状のものをナノメータオーダーで測定できる光学業界のデファクトスタンダードです。
また、非接触による測定で被検体にキズを付けることなく、簡単に合否判定ができます。

ガラス系

各種球面レンズ
（デジタルカメラ、車載、セキュリティ、センサー、コンタクトレンズ、複写など）

干渉縞

金属系

鋼球
ベアリング
型（最大φ60mm程度）

干渉縞

その他

プラ用型（コンタクトレンズなど）
各種フィルター

干渉縞

製品名	測定対象	有効光束径（mm）	基準面精度	拡大倍率
コンパクトレーザー干渉計 F601	球面・透過波面	φ60	λ/20	×1
ニュートン縞検査装置 F601FCII	球面	φ60	λ/20	×1

縞解析装置

干渉計で得られた干渉縞を解析し、表面形状や透過波面形状を数値化、ビジュアル化することで、測定結果を詳細分析することができるため、開発や品質管理の向上に貢献します。

製品名	表示項目	解析画素数	その他の機能
縞解析装置 A1	P-V値 RMS値鳥瞰図等高線図断面図ヒストグラムザイデル収差ゼルニケ多項式係数	256 × 256 512 × 512	データ保存合否判定 Code V出力データサブトラクション