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レーザー干渉計 G102S(平面測定)

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裏面ノイズキャンセルも可能

裏面反射の影響を除去する新方式を採用
厚さ0.1mm以上の平行平面ガラスの測定が可能
スイッチの切換えにより通常のレーザー干渉計としても使用可能

  • φ102mm高精度平面板(ガラス、金属、セラミック等)の平面度測定、透過波面測定。
  • ズームレンズ内蔵により小口径被検体も測定可能。
  • コリメーターレンズ*を交換することにより最大φ150mmまでの被検体を測定可能。
  • リモートコントロールが付いており、アライメント切替、光量調整、ズーム調整、フォーカス調整が簡単に調整可能。
  • G102SはG102をベースに光源部に裏面反射の影響を除去する方式を採用。そのため、薄板ガラスや平行平面板など裏面の干渉縞が発生する被検体をG102Sを使用することで、表面形状を正確に測定することが可能。

主な仕様

光源

半導体レーザー(クラス1レーザー製品)

波長

685nm±15nm

形式

フィゾー型干渉方式

有効光束径

半導体レーザー(クラス1レーザー製品)

測定感度

λ/2(約0.3μm/縞)

基準面精度

P-V値で32nm

拡大倍率

6倍ズーム

寸法

約360×365×1000mm

質量

約70kg(本体のみ)

電源

AC100V 50/60Hz 2A

構成

G102S(φ102)平面測定システム

<標準構成品>
本体
防振台
液晶モニター
縞解析装置A1
低反射基準板

<別売オプション製品>
高反射用基準板

G102S(φ150)平面測定システム

<標準構成品>
本体
防振台
液晶モニター
縞解析装置A1
低反射基準板

<別売オプション製品>
高反射用基準板

  • * 上記構成品のセット販売となります